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单晶硅表层机械力学特性的各向异性分析
被引量:
4
1
作者
程健
牛玉宝
+3 位作者
王景贺
曲平
王凯
白晓荣
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期16-23,共8页
为探究挠性筋结构单晶硅材料的各向异性特性以及KOH腐蚀工艺对其力学性能的影响规律,进行纳米压痕实验,并结合原子力显微镜观察单晶硅表层3个主晶面上压痕裂纹形貌随晶向的变化规律,分析单晶硅材料表层弹性模量、硬度、断裂韧性等机械...
为探究挠性筋结构单晶硅材料的各向异性特性以及KOH腐蚀工艺对其力学性能的影响规律,进行纳米压痕实验,并结合原子力显微镜观察单晶硅表层3个主晶面上压痕裂纹形貌随晶向的变化规律,分析单晶硅材料表层弹性模量、硬度、断裂韧性等机械力学特性参数在(001)、(110)及(111)3个主要晶面上沿各个晶向的变化规律;分析挠性筋结构单晶硅材料(001)晶面的KOH腐蚀工艺对其材料表面机械特性的影响规律.结果表明:挠性筋单晶硅在(001)晶面上弹性模量的各向异性变化幅度明显,硬度及断裂韧性各向异性的变化幅度不大;挠性筋单晶硅在(110)晶面弹性模量和断裂韧性的各向异性变化幅度明显,硬度各向异性变化幅度不大;挠性筋单晶硅在(111)晶面硬度值、弹性模量及断裂韧性参数的变化幅度幅值均较小;确定了单晶硅表层3个晶面裂纹最易扩展的晶向方向,KOH腐蚀工艺使得单晶硅表面质量降低,腐蚀后暴露的表面微裂纹、缺陷等会使得单晶硅(001)晶面表层硬度、断裂韧性降低,从而降低了挠性筋结构的实际断裂强度.
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关键词
单晶硅挠性筋
各向异性
纳米压痕
腐蚀工艺
机械力学特性
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职称材料
题名
单晶硅表层机械力学特性的各向异性分析
被引量:
4
1
作者
程健
牛玉宝
王景贺
曲平
王凯
白晓荣
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
哈尔滨工业大学能源科学与工程学院
西安飞行自动控制研究所
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期16-23,共8页
基金
国防基础科研科学挑战专题(JCKY2016212A506-0503)
国家自然科学基金(51705105)
博士后科学基金(2017M621260,LBH-Z17090)
文摘
为探究挠性筋结构单晶硅材料的各向异性特性以及KOH腐蚀工艺对其力学性能的影响规律,进行纳米压痕实验,并结合原子力显微镜观察单晶硅表层3个主晶面上压痕裂纹形貌随晶向的变化规律,分析单晶硅材料表层弹性模量、硬度、断裂韧性等机械力学特性参数在(001)、(110)及(111)3个主要晶面上沿各个晶向的变化规律;分析挠性筋结构单晶硅材料(001)晶面的KOH腐蚀工艺对其材料表面机械特性的影响规律.结果表明:挠性筋单晶硅在(001)晶面上弹性模量的各向异性变化幅度明显,硬度及断裂韧性各向异性的变化幅度不大;挠性筋单晶硅在(110)晶面弹性模量和断裂韧性的各向异性变化幅度明显,硬度各向异性变化幅度不大;挠性筋单晶硅在(111)晶面硬度值、弹性模量及断裂韧性参数的变化幅度幅值均较小;确定了单晶硅表层3个晶面裂纹最易扩展的晶向方向,KOH腐蚀工艺使得单晶硅表面质量降低,腐蚀后暴露的表面微裂纹、缺陷等会使得单晶硅(001)晶面表层硬度、断裂韧性降低,从而降低了挠性筋结构的实际断裂强度.
关键词
单晶硅挠性筋
各向异性
纳米压痕
腐蚀工艺
机械力学特性
Keywords
monocrystalline silicon flexible rib
anisotropy
nano indentation
etching technique
mechanical property
分类号
TU375.2 [建筑科学—结构工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅表层机械力学特性的各向异性分析
程健
牛玉宝
王景贺
曲平
王凯
白晓荣
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
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职称材料
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