液固界面反应法制备c-BN纳米晶

通过高能脉冲激光诱导丙酮 六方氮化硼界面反应制备出了立方氮化硼纳米晶体,透射电子显微镜分析表明制备的立方氮化硼(c BN)纳米晶体为直径约30～80nm的类球状晶体。傅立叶变换红外光谱和X射线衍射都分别用来表征c BN的结构。

CN200610050827．9纳米晶立方氮化硼薄膜的制备方法

本发明公开的纳米晶立方氮：化硼薄膜的制备方法，步骤如下：①把衬底表面清洗干净放到气相生长装置的反应室，反应室真空度至少抽到10^-3Pa；②向反应室输入保护气体，加热衬底并控制其温度在300～1100℃，调节反应室压强到0．1～10Pa，在反应室中产生等离子体；③控制衬底偏压在0～250V，然后依次向反应室输入氮源，氯源和硼源，进行薄膜生长。