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三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制 被引量:1
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作者 阳红 刘有海 +4 位作者 张敏 陈东生 戴晓静 宋颖慧 肖虹 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2020年第2期158-160,共3页
文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm... 文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm铝合金凸球面面形PV值达0.24μm,表面粗糙度Sa值达3.5nm,表明了机床具有较好的运动精度和加工性能。 展开更多
关键词 超精密 静压支承 单点金刚石车床
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单点金刚石车床伺服系统的优化和性能评估
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作者 金友 《光机电信息》 1999年第6期7-13,共7页
本文描述了一种新设计的快速进刀伺服系统,用于单点金刚石车床加工非旋转对称工件。将描述该系统样机,样机带有一个对典型车床刀具控制器的柔性接口,用它测试加工的倾斜平板和离轴二次截面的性能。从测试数据可以看出:该伺服系统加工的... 本文描述了一种新设计的快速进刀伺服系统,用于单点金刚石车床加工非旋转对称工件。将描述该系统样机,样机带有一个对典型车床刀具控制器的柔性接口,用它测试加工的倾斜平板和离轴二次截面的性能。从测试数据可以看出:该伺服系统加工的表面有<175(?)RMS的表面粗糙度(2~200μm空间滤波器)。还讨论了用于线性化压电致动器中迟滞效应的各种技术。用一动态补偿模块和一线性控制器组合来减少由迟滞造成的各种非线性效应。该补偿器实时地采样迟滞电压/位移瞬时相关数值,然后相应地变更有效增益进行补偿。模拟结果表明:在该系统中能补偿由迟滞效应造成的系统性能误差,使误差减少了90%.实验证实能减少80%的由迟滞效应产生的运动误差,但峰至谷(P—V)误差会受补偿器边带效应的限制.对用未经补偿的伺服系统机床加工的轴上车削高轴二次截面进行测试,得出面形误差<0.80μm(P—V)。 展开更多
关键词 单点金刚石车床 伺服系统 优化 性能评估
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光栅刻划机直线度误差补偿的研究 被引量:3
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作者 黄元申 董成成 +5 位作者 黄运柏 盛斌 周红艳 孙乐 杨海马 张大伟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期946-951,共6页
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价... 中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。 展开更多
关键词 中阶梯光栅 超精密单点金刚石车床 直线度 衍射波前
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