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单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
1
作者
田雨暄
王胜利
+3 位作者
罗翀
王辰伟
孙纪元
张国林
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024年第4期47-55,共9页
[目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾...
[目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)和非离子型表面活性剂烷基糖苷(APG)作为抑制剂,得到绿色环保的抛光液。先从Co的去除速率和静态腐蚀速率、抛光液的润湿性及抛光后Co的表面品质入手,研究了MAPK与APG对Co互连CMP的影响。接着通过电化学分析和密度泛函理论分析,构建出两种表面活性剂在Co表面的吸附模型,探讨了它们对Co互连CMP的影响机制。[结果]MAPK与APG复配时抛光液的润湿性最好,Co镀膜片在CMP过程中的去除速率和静态腐蚀速率分别为454 nm/min和1 nm/min,抛光后表面品质良好,无腐蚀缺陷。[结论]MAPK和APG都较环保,有望替代传统抑制剂用于钴互连化学机械抛光。
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关键词
钴互连
化学机械抛光
单烷基磷酸酯钾盐
烷基
糖苷
去除速率
密度泛函理论
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职称材料
单烷基醚磷酸酯钾盐对粘胶短纤维油剂性能的影响
被引量:
1
2
作者
刘鹏
郁蕉竹
+2 位作者
谷亚新
刘运学
于云武
《合成纤维工业》
CAS
2019年第6期23-25,共3页
以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗...
以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗静电剂添加量的油剂的红外光谱。结果表明:添加了单烷基醚磷酸酯钾盐的油剂具有优异的抗静电性能;经油剂质量分数为10%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐质量分数从0增加到20%,粘胶短纤维的ρ从69.53×10^6Ω·cm明显下降到3.06×10^6Ω·cm;经油剂质量分数为1%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐浓度的增加,粘胶短纤维的τ没有明显变化,均显著低于未经上油处理粘胶短纤维的τ;该油剂具有较低ρ、较小τ,能够满足纤维后处理工序快速上油的需求。
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关键词
单
烷基
醚
磷酸酯
钾盐
粘胶短纤维
油剂
比电阻
表面张力
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职称材料
表面活性剂对黄芩苷微波萃取的影响
被引量:
10
3
作者
龚盛昭
程江
杨卓如
《日用化学工业》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2...
研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2次,每次按m(萃取剂)∶m(黄芩粉)=10∶1加入萃取剂,萃取4min。萃取液用质量分数为15%的HCl调pH=1~2,析出沉淀,过滤,滤饼用水洗和乙醇洗,干燥,即得黄芩苷粗产品,收率为6 8%,黄芩苷质量分数约为88 1%。结果表明:MAPK能降低微波功率,缩短微波辐射时间,并能提高黄芩苷的收率和纯度,对微波萃取黄芩苷具有明显的协同作用。
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关键词
阴离子表面活性剂
单烷基磷酸酯钾盐
黄芩苷
微波萃取
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职称材料
题名
单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
1
作者
田雨暄
王胜利
罗翀
王辰伟
孙纪元
张国林
机构
河北工业大学电子信息工程学院
天津市电子材料与器件重点实验室
出处
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024年第4期47-55,共9页
基金
河北省自然科学基金(E2019202367)。
文摘
[目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)和非离子型表面活性剂烷基糖苷(APG)作为抑制剂,得到绿色环保的抛光液。先从Co的去除速率和静态腐蚀速率、抛光液的润湿性及抛光后Co的表面品质入手,研究了MAPK与APG对Co互连CMP的影响。接着通过电化学分析和密度泛函理论分析,构建出两种表面活性剂在Co表面的吸附模型,探讨了它们对Co互连CMP的影响机制。[结果]MAPK与APG复配时抛光液的润湿性最好,Co镀膜片在CMP过程中的去除速率和静态腐蚀速率分别为454 nm/min和1 nm/min,抛光后表面品质良好,无腐蚀缺陷。[结论]MAPK和APG都较环保,有望替代传统抑制剂用于钴互连化学机械抛光。
关键词
钴互连
化学机械抛光
单烷基磷酸酯钾盐
烷基
糖苷
去除速率
密度泛函理论
Keywords
cobalt interconnection
chemical mechanical polishing
potassium monoalkyl phosphate
alkyl polyglucoside
removal rate
density functional theory
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
单烷基醚磷酸酯钾盐对粘胶短纤维油剂性能的影响
被引量:
1
2
作者
刘鹏
郁蕉竹
谷亚新
刘运学
于云武
机构
沈阳建筑大学材料科学与工程学院
沈阳浩博实业有限公司
出处
《合成纤维工业》
CAS
2019年第6期23-25,共3页
基金
辽宁科技厅基金资助项目(20180550432)
文摘
以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗静电剂添加量的油剂的红外光谱。结果表明:添加了单烷基醚磷酸酯钾盐的油剂具有优异的抗静电性能;经油剂质量分数为10%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐质量分数从0增加到20%,粘胶短纤维的ρ从69.53×10^6Ω·cm明显下降到3.06×10^6Ω·cm;经油剂质量分数为1%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐浓度的增加,粘胶短纤维的τ没有明显变化,均显著低于未经上油处理粘胶短纤维的τ;该油剂具有较低ρ、较小τ,能够满足纤维后处理工序快速上油的需求。
关键词
单
烷基
醚
磷酸酯
钾盐
粘胶短纤维
油剂
比电阻
表面张力
Keywords
potassium monoalkyl ether phosphate salt
viscose staple fiber
oil agent
specific resistance
surface tension
分类号
TQ423.96 [化学工程]
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职称材料
题名
表面活性剂对黄芩苷微波萃取的影响
被引量:
10
3
作者
龚盛昭
程江
杨卓如
机构
广东轻工职业技术学院轻化工程系
华南理工大学化工学院
出处
《日用化学工业》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
基金
广东省佛山市产学研专项资金资助项目(2003A36)
文摘
研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2次,每次按m(萃取剂)∶m(黄芩粉)=10∶1加入萃取剂,萃取4min。萃取液用质量分数为15%的HCl调pH=1~2,析出沉淀,过滤,滤饼用水洗和乙醇洗,干燥,即得黄芩苷粗产品,收率为6 8%,黄芩苷质量分数约为88 1%。结果表明:MAPK能降低微波功率,缩短微波辐射时间,并能提高黄芩苷的收率和纯度,对微波萃取黄芩苷具有明显的协同作用。
关键词
阴离子表面活性剂
单烷基磷酸酯钾盐
黄芩苷
微波萃取
Keywords
anionic surfactant
potassium monoalkyl phosphate
baicalin
microwave-assisted extraction
分类号
TQ461 [化学工程—制药化工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
田雨暄
王胜利
罗翀
王辰伟
孙纪元
张国林
《电镀与涂饰》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
单烷基醚磷酸酯钾盐对粘胶短纤维油剂性能的影响
刘鹏
郁蕉竹
谷亚新
刘运学
于云武
《合成纤维工业》
CAS
2019
1
下载PDF
职称材料
3
表面活性剂对黄芩苷微波萃取的影响
龚盛昭
程江
杨卓如
《日用化学工业》
CAS
CSCD
北大核心
2005
10
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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