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单烷基磷酸酯钾盐和烷基糖苷对钴互连化学机械抛光的影响
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作者 田雨暄 王胜利 +3 位作者 罗翀 王辰伟 孙纪元 张国林 《电镀与涂饰》 CAS 北大核心 2024年第4期47-55,共9页
[目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾... [目的]目前钴(Co)互连化学机械抛光(CMP)使用的传统唑类抑制剂(如苯并三氮唑)一般有毒性,会对环境造成危害。[方法]在以甘氨酸为配位剂、过氧化氢为氧化剂和SiO_(2)(平均粒径60 nm)为磨料的情况下,添加阴离子型表面活性剂单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)和非离子型表面活性剂烷基糖苷(APG)作为抑制剂,得到绿色环保的抛光液。先从Co的去除速率和静态腐蚀速率、抛光液的润湿性及抛光后Co的表面品质入手,研究了MAPK与APG对Co互连CMP的影响。接着通过电化学分析和密度泛函理论分析,构建出两种表面活性剂在Co表面的吸附模型,探讨了它们对Co互连CMP的影响机制。[结果]MAPK与APG复配时抛光液的润湿性最好,Co镀膜片在CMP过程中的去除速率和静态腐蚀速率分别为454 nm/min和1 nm/min,抛光后表面品质良好,无腐蚀缺陷。[结论]MAPK和APG都较环保,有望替代传统抑制剂用于钴互连化学机械抛光。 展开更多
关键词 钴互连 化学机械抛光 单烷基磷酸酯钾盐 烷基糖苷 去除速率 密度泛函理论
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单烷基醚磷酸酯钾盐对粘胶短纤维油剂性能的影响 被引量:1
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作者 刘鹏 郁蕉竹 +2 位作者 谷亚新 刘运学 于云武 《合成纤维工业》 CAS 2019年第6期23-25,共3页
以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗... 以单烷基醚磷酸酯钾盐为抗静电剂,与矿物油和表面活性剂复配制备一种新型粘胶短纤维油剂,考察了单烷基醚磷酸酯钾盐添加量对粘胶短纤维的比电阻(ρ)、表面张力(τ)等性能的影响,并采用扫描电镜表征了粘胶短纤维的表面形貌,测试了不同抗静电剂添加量的油剂的红外光谱。结果表明:添加了单烷基醚磷酸酯钾盐的油剂具有优异的抗静电性能;经油剂质量分数为10%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐质量分数从0增加到20%,粘胶短纤维的ρ从69.53×10^6Ω·cm明显下降到3.06×10^6Ω·cm;经油剂质量分数为1%的工作液上油处理,随着油剂中单烷基醚磷酸酯钾盐浓度的增加,粘胶短纤维的τ没有明显变化,均显著低于未经上油处理粘胶短纤维的τ;该油剂具有较低ρ、较小τ,能够满足纤维后处理工序快速上油的需求。 展开更多
关键词 烷基磷酸酯钾盐 粘胶短纤维 油剂 比电阻 表面张力
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表面活性剂对黄芩苷微波萃取的影响 被引量:10
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作者 龚盛昭 程江 杨卓如 《日用化学工业》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-26,共4页
研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2... 研究了表面活性剂对微波萃取黄芩苷的影响,筛选出对微波萃取黄芩苷具有明显协同作用的表面活性剂———单烷基磷酸酯钾盐(MAPK)。通过试验,得到MAPK协同微波萃取黄芩苷的较佳工艺:以质量分数为0 15%的MAPK水溶液为萃取剂,微波300W萃取2次,每次按m(萃取剂)∶m(黄芩粉)=10∶1加入萃取剂,萃取4min。萃取液用质量分数为15%的HCl调pH=1~2,析出沉淀,过滤,滤饼用水洗和乙醇洗,干燥,即得黄芩苷粗产品,收率为6 8%,黄芩苷质量分数约为88 1%。结果表明:MAPK能降低微波功率,缩短微波辐射时间,并能提高黄芩苷的收率和纯度,对微波萃取黄芩苷具有明显的协同作用。 展开更多
关键词 阴离子表面活性剂 单烷基磷酸酯钾盐 黄芩苷 微波萃取
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