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单片集成硅光接收器中p-i-n硅光电探测器的进展 被引量:2
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作者 郭辉 郭维廉 +1 位作者 吴霞宛 陈迪平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期52-57,共6页
介绍了单片集成硅光接收器的研究背景、硅光电探测器工作机理以及它对实现高性能单片集成硅光接收器的影响,回顾总结了近年来的研究进展,并报道了我们的研究结果,展望了今后的发展。
关键词 集成电路 p-i-n电探测器 SOI 单片集成硅光接收器
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