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题名张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用
被引量:1
- 1
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作者
衣忠波
王仲康
杨生荣
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所材料设备事业部
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出处
《电子工业专用设备》
2010年第4期17-20,共4页
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文摘
金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统。
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关键词
单线切割
线张力
张力调节
碳化硅
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Keywords
Single Wire Saw
Wire Tension
Adjusting the Wire Tension
SiC
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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题名单线切割设备的切割方式研究
被引量:1
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作者
王欣
衣忠波
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2015年第1期9-13,共5页
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文摘
通过对两种单线切割方式(摆动切割和不摆动切割)切割线受力情况的分析,比较了切削线与工件之间的接触长度与受力状态,以提高晶片切割表面质量和切片效率并减小切削线断线率的切割方式为研究方向,通过理论分析和实际应用得出:摆动切割时切削线与工件的接触长度较小,法向压力和切向切割力会更小,所以切削线不容易断裂;承载着工件的工作台的弧形摇摆也促进了切割运动,而且与切割运动同步还可以保证对切割面有一个合理的研磨作用,也使得切削粉末可以更容易排出,有效提高切割表面质量。
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关键词
半导体设备
单线切割
直线进给切割
摆动切割
摆动工作台装置
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Keywords
Semiconductor equipment
Single wire saw, Linear feed cutting, Swing cutting, Swing workbench device
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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