W-Pt微纳热电偶批量制备装置的设计与实现

为了提高能应用于单细胞温度测量实验的W-Pt微纳热电偶的制作效率和稳定性,采用自动化控制技术完成W-Pt微纳热电偶批量制备系统的设计和实现.采用模块化设计方式,分别完成系统整体结构、电气控制系统部分的设计与实现,采用扫描电子显微镜、光学显微镜和水浴定标系统研究该系统制作的W-Pt微纳热电偶参数,包括W针尖端曲率半径、尖端锥角、裸露基极长度和Seeback系数.研究表明：该系统可实现快速制作性能稳定的W-Pt微纳热电偶,制作的大部分热电偶尖端曲率半径小于500 nm,锥角小于18°,裸露基极长度小于100μm,Seeback系数为4~8μV/K,可很好地应用于单细胞温度测量实验.