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高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型
1
作者
刘坤
郝明
+3 位作者
李强
张小军
陈树雷
巴德纯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1459-1465,共7页
微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过...
微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。
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关键词
高真空干泵
单螺旋转子
抽气性能
数值模型
直接模拟蒙特卡罗方法
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职称材料
题名
高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型
1
作者
刘坤
郝明
李强
张小军
陈树雷
巴德纯
机构
东北大学机械工程与自动化学院
北京卫星环境工程研究所
中国电力科学研究院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第12期1459-1465,共7页
基金
国家自然科学基金项目(51376039)
教育部中央高校基本科研费(N120403006)
十一五国家科技重大专项(2009ZX02014-002)
文摘
微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。
关键词
高真空干泵
单螺旋转子
抽气性能
数值模型
直接模拟蒙特卡罗方法
Keywords
High vacuum dry pump
Single screw rotor
Pumping characteristics
Numerical model
DSMC(Direct Simulation Monte Carlo) method
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型
刘坤
郝明
李强
张小军
陈树雷
巴德纯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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