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工件单面加工热变形误差计算分析
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作者 阳尧端 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第14期59-62,共4页
长尺寸重要零件单面加工过程中,因受热不均产生应力应变,容易出现热变形加工误差,为了准确计算这种误差,通过建立模型,应用数学和力学原理推导出单面加工热变形计算公式,并确定各项取值办法,进行了实例验证。本方法对一些高精度和典型... 长尺寸重要零件单面加工过程中,因受热不均产生应力应变,容易出现热变形加工误差,为了准确计算这种误差,通过建立模型,应用数学和力学原理推导出单面加工热变形计算公式,并确定各项取值办法,进行了实例验证。本方法对一些高精度和典型重要工件加工误差的预测、修正、工艺结构设计改进和产品精度定位提供了重要依据。 展开更多
关键词 单面加工 热变形 应力应变 误差
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单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器 被引量:2
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《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期822-825,共6页
在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings I... 在(111)硅片上研制了一种单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器。利用Comsol仿真软件对敏感结构参数进行优化设计,最大程度降低了传感器的热损耗,提高了传感器灵敏度和响应时间。此外,得益于MEMS微创手术MIS(Micro-openings Inter-etch&Sealing)工艺技术使得加工后的芯片尺寸仅为0.7 mm×0.7 mm,测试结果表明:传感器灵敏度为107.88m V/(m/s)W(无放大处理),检测响应时间仅为1.53 ms,综合精度为±4%。 展开更多
关键词 热温差式流量传感器 热隔离 单硅片单面硅微机械加工 仿真分析
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微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
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作者 王家畴 刘洁丹 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期885-890,共6页
介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制... 介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体。同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放。该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容。文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果。 展开更多
关键词 MEMS MISSM技术 单硅片单面加工 微型释放窗口
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基于(111)硅单片集成三轴加速度计的工艺研究 被引量:3
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作者 赵忆 王家畴 +1 位作者 陈方 李昕欣 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第6期390-395,共6页
介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而且成本低廉,成品率高,适用于批量生产,可替代传统的SOI工艺。该方法主要利用硅深度反应离子刻蚀(DRIE)技... 介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而且成本低廉,成品率高,适用于批量生产,可替代传统的SOI工艺。该方法主要利用硅深度反应离子刻蚀(DRIE)技术结合普通(111)单晶硅片内部可选择性横向自停止腐蚀技术制作并释放得到悬浮可动的敏感结构。此外,创新的锚点设计不仅使检测电极之间相互电学隔离,而且便于引线键合与封装。最后基于开环接口电路对加工制造的三轴加速度计进行了测试,验证了该工艺的可行性。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) (111)硅 单硅片单面加工 三轴加速度计 单片集成
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40mm以上厚度复合钢板复验问题的探讨
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作者 冯芷平 张晖 《石油和化工设备》 CAS 2013年第2期30-32,共3页
在对板厚超过40mm且复层厚度超过3mm的复合钢板进行拉伸性能复验时,因钢板上下表面平行度的原因,加工的试样无法达到国家标准规定的要求。为此选取了两组共24个试样,其复层厚度分别为加工过的和保留原厚度的两组,进行拉伸性能对比试验,... 在对板厚超过40mm且复层厚度超过3mm的复合钢板进行拉伸性能复验时,因钢板上下表面平行度的原因,加工的试样无法达到国家标准规定的要求。为此选取了两组共24个试样,其复层厚度分别为加工过的和保留原厚度的两组,进行拉伸性能对比试验,试验结果为二者差别不大。为此得出结论,对于大批量复检,双面加工复合钢板试样,将大大增加加工时间,延长生产周期,而实际意义并不大。 展开更多
关键词 复合钢板 拉伸性能 复验 单面加工 双面加工 探讨
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p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用 被引量:2
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作者 王珊珊 王家畴 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期161-166,共6页
为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参... 为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参数进行仿真分析,结合工艺参数得到了一个最优化的器件尺寸。根据这一尺寸制造了一个p+Si/Au热电堆式气体流量传感器以进一步验证一维模型。测试得到的传感器归一化灵敏度为481 [mV/(m/s)]/W。此参数比之前的工作高出数倍。此外,测试所得的输出电压曲线与一维模型仿真的曲线一致性也较好,进一步证明了这一一维模型的正确性。 展开更多
关键词 热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型 单面硅微机械加工 p+Si/Au 热电堆
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弧齿圆柱齿轮铣齿机的研制 被引量:4
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作者 雷楠南 《机床与液压》 北大核心 2019年第8期48-52,共5页
在研究弧齿圆柱齿轮展成基本齿条及切齿方法的基础上,提出了弧齿圆柱齿轮切齿加工的双工位单面双铣加工方法。基于旋转刀盘加工原理,建立了弧齿圆柱齿轮齿面方程。基于双工位单面加工思想,设计了专用弧齿圆柱齿轮铣齿机,经过切齿加工验... 在研究弧齿圆柱齿轮展成基本齿条及切齿方法的基础上,提出了弧齿圆柱齿轮切齿加工的双工位单面双铣加工方法。基于旋转刀盘加工原理,建立了弧齿圆柱齿轮齿面方程。基于双工位单面加工思想,设计了专用弧齿圆柱齿轮铣齿机,经过切齿加工验证,该机床具有加工效率高、可靠性高等优点。 展开更多
关键词 弧齿圆柱齿轮 双工位 单面双铣加工 旋转刀盘 铣齿机
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Molecular Dynamics of Nanometric Processing of Ion Implanted Monocrystalline Silicon Surfaces
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作者 陈耘辉 房丰洲 +1 位作者 张效栋 胡小唐 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2014年第3期203-209,共7页
Three-dimensional molecular dynamics simulations are carried out to study the mechanism of nanometric processing of ion implanted monocrystalline silicon surfaces. Lattice transformation is observed during implantatio... Three-dimensional molecular dynamics simulations are carried out to study the mechanism of nanometric processing of ion implanted monocrystalline silicon surfaces. Lattice transformation is observed during implantation and nano-indentation using radial distribution function and geometric criterion damage detection. Nano-indentation is simulated to study the changes of mechanical property. Implantation analysis shows the existence of amorphous phase. Indentation process shows the lattice evolution, which is beneficial for reducing fractures during processing. The indentation results reveal the reduction of brittleness and hardness of the implanted surface. The ion fluence is in direct proportion to the damage, and inverse to the hardness of the material. Experiments of ion implar, tation, nanoindentation, nano-scratching and nanometric cutting were carried out to verify the simulation results. 展开更多
关键词 molecular dynamics ion implantation monocrystalline silicon nanometric cutting
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(111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究
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作者 黄涛 王家畴 李昕欣 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期30-38,共9页
流量测控在生物医疗、农业监测、汽车电子等方面具有举足轻重的作用。针对现有热堆式气体流量传感器普遍存在着器件尺寸大、灵敏度低、成本高等不足,基于(111)硅片的单面微机械加工工艺设计了一款p^(+)Si/Au热电堆式气体流量传感器。采... 流量测控在生物医疗、农业监测、汽车电子等方面具有举足轻重的作用。针对现有热堆式气体流量传感器普遍存在着器件尺寸大、灵敏度低、成本高等不足,基于(111)硅片的单面微机械加工工艺设计了一款p^(+)Si/Au热电堆式气体流量传感器。采用高塞贝克系数的p^(+)Si/Au材料制作热电偶,结合“鱼骨状”隔热薄膜和嵌入式隔热腔体结构,最大程度增大了器件的热阻,降低了热损耗,提升了器件的灵敏度。同时,热电偶冷端与单晶硅衬底之间采用高导热的复合金属相连,不仅增大了热电偶冷热端之间的温度差,而且简化了工艺的复杂度。得益于单面微机械加工工艺,传感器尺寸仅有0.65 mm×0.65 mm。在此基础上,基于气体流道封装以及信号处理电路,设计了集传感器芯片,气流流道以及处理电路于一体的气体流量检测模块。测试结果表明,在320倍电压放大及1.0 V的电压偏置下,该器件的归一化灵敏度约为5.4 mV/sccm/mW,响应时间为1.44 ms。 展开更多
关键词 热堆式气体流量传感器 单面硅微机械加工 p^(+)Si/Au热电堆 气流流道
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Research on the nanometric machining of a single crystal nickel via molecular dynamics simulation 被引量:4
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作者 GONG Ya Dong ZHU Zong Xiao +1 位作者 ZHOU Yun Guang SUN Yao 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第12期1837-1846,共10页
Molecular dynamics simulations are employed to study the nanometric machining process of single crystal nickel. Atoms from different machining zones had different atomic crystal structures owing to the differences in ... Molecular dynamics simulations are employed to study the nanometric machining process of single crystal nickel. Atoms from different machining zones had different atomic crystal structures owing to the differences in the actions of the cutting tool. The stacking fault tetrahedral was formed by a series of dislocation reactions, and it maintained the stable structure after the dislocation reactions. In addition, evidence of crystal transition and recovery was found by analyzing the number variations in different types of atoms in the primary shear zone, amorphous region, and crystalline region. The effects of machining speed on the cutting force, chip and subsurface defects, and temperature of the contact zone between the tool and workpiece were investigated. The results suggest that higher the machining speed, larger is the cutting force. The degree of amorphousness of chip atoms and the depth and extent of subsurface defects increase with the machining speed. The average friction coefficient first decreases and then increases with the machining speed because of the temperature difference between the chip and machining surface. 展开更多
关键词 molecular dynamics simulation nanometric machining single crystal nickel crystal transition and recovery machining speed
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