石英玻璃厚壁管制备工艺的研究

研究了石英玻璃厚壁管加工设备、工装夹具、工艺参数对厚壁管精度及表面质量的影响,确定了厚壁管取芯工艺合适的取芯设备、冷却液、取芯钻头及工艺参数,珩磨工艺合适的珩磨头、冷却水过滤方式及工艺参数,外圆精密加工合适的工装夹具及工艺参数,对石英玻璃厚壁管加工工艺的选择有指导意义。