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扩散硅压力传感元件的可靠性问题探讨 被引量:1
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作者 牟军 《传感器技术》 CSCD 1990年第2期12-17,21,共7页
本文探讨了工业用扩散硅压力传感元件可靠性的问题,介绍了其应用环境特点、失效模式以及引起失效的种种因素,并从设计和工艺角度出发,给出了防止失效的办法及保证可靠性的措施。
关键词 扩散硅 压力传感元件 可靠性
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硅传感器与微结构(3):第四讲 硅压力传感元件的基本特性
2
作者 杨亮生 黄保卫 《上海光机》 1990年第3期5-10,22,共7页
关键词 微结构 压力传感元件
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微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性
3
作者 牟军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第3期98-99,共2页
热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响。通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口。
关键词 压力传感元件 压力非线性 残余应力
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橡胶膜片有效面积的测定及其影响因素 被引量:2
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作者 郭万泉 《航空制造技术》 北大核心 2003年第10期53-56,共4页
对橡胶膜片有效面积测定装置的设计思想作了详尽介绍 ,对膜片有效面积的影响因素作了较全面的分析和实验验证 。
关键词 橡胶膜片 有效面积 测定 影响因素 自动控制系统 压力传感元件
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A novel fully-integrated miniature six-axis force/torque sensor 被引量:5
5
作者 王嘉力 Xie Zongwu +2 位作者 Liu Hong Jiang Li Gao Xiaohui 《High Technology Letters》 EI CAS 2006年第3期235-238,共4页
This paper presents a new designed miniature six DOF (degree of freedom) force/torque sensor. This sensor is fully integrated with a micro DSP (digital signal processor), so all the signal conditioning, A/D, decou... This paper presents a new designed miniature six DOF (degree of freedom) force/torque sensor. This sensor is fully integrated with a micro DSP (digital signal processor), so all the signal conditioning, A/D, decoupling, digital-signals serial output are performed in the sensor. Some experimental results are presented to demonstrate the capability of the proposed design. Finally, a neural network was used for decoupling the interacting signals, compared with the conventional method using the inverse matrix, this new method is more accurate. 展开更多
关键词 six-axis force sensor sensing element CALIBRATION neural network
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