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电动汽车热泵空调系统用MEMS压力温度传感器 被引量:2
1
作者 王伟忠 许旭 +2 位作者 刘聪聪 付志杰 杨拥军 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1102-1107,共6页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简单、成本低的平膜结构。结合MEMS加工工艺,利用低温硅-硅键合技术、硅通孔(TSV)技术实现了压敏电阻的芯片级介质隔离。设计了传感器的全金属密封结构,搭建了汽车热管理核心热泵空调系统台架,并进行了长期可靠性验证。结果表明,该传感器的基本性能良好,全温区(-40~135℃)传感器压力精度<0.3%FS,可长期应用于新能源电动汽车热管理核心热泵空调系统。 展开更多
关键词 压力温度传感器 微电子机械系统(MEMS) 硅通孔(TSV) 全金属密封结构 新能源电动汽车
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柴油机机油压力温度传感器故障分析与改进 被引量:1
2
作者 朱耀文 徐长科 +2 位作者 王秀荣 刘丹丹 李欢玲 《内燃机与动力装置》 2017年第4期53-56,共4页
本文结合某型柴油机机油压力温度传感器故障案例,通过对传感器进行特性检测、振动分析、装机复试,以及借助X光检测,实物拆检分析等一系列措施,由浅及深地剖析并最终确定了问题的根本原因,提出改进优化方案,为发动机上其他传感器的故障... 本文结合某型柴油机机油压力温度传感器故障案例,通过对传感器进行特性检测、振动分析、装机复试,以及借助X光检测,实物拆检分析等一系列措施,由浅及深地剖析并最终确定了问题的根本原因,提出改进优化方案,为发动机上其他传感器的故障分析提供了参考。 展开更多
关键词 机油压力温度传感器 发动机 焊接 振动
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一种新型硅基厚膜压力/温度传感器的设计和制作 被引量:6
3
作者 张艳红 刘兵武 +3 位作者 刘理天 张兆华 谭智敏 林惠旺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2376-2379,共4页
设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为... 设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压敏元件和热敏元件两部分.其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力.压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度.体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度.该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容.初步的测试结果表明器件具有良好的性能. 展开更多
关键词 压力/温度传感器 压阻效应 应力分布 集成工艺
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单片式压电谐振型石英压力-温度传感器设计
4
作者 宋国庆 姚东媛 +1 位作者 邹向光 谢胜秋 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第5期102-105,共4页
提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT... 提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT切型,厚度切变模式工作,不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60°。无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合,并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性。其中,非晶态SiC层的制作是为了实现应力的缓冲:虽然硅和石英材料的热膨胀系数不匹配,可是二者之间的非晶态SiC层却能够良好地吸收其热应力,成为无应力结构。 展开更多
关键词 石英压力-温度传感器 压电谐振 单片式 厚度切变模式 压力-伸缩力变换器 非晶态SiC 无应力封接
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可同时测量温度和压力的高灵敏度光纤光栅传感器 被引量:3
5
作者 郑史烈 李静 章献民 《光学仪器》 2008年第5期57-60,共4页
报道一种新颖的基于单个光纤布拉格光栅的传感器。该传感器将光栅的一部分封装在周围填充聚合物的金属空腔里,另一部分固定在金属柱体内。由于固定的光栅部分不受应变的影响,而封装在聚合物的光栅同时受温度和应变的影响,因此该结构可... 报道一种新颖的基于单个光纤布拉格光栅的传感器。该传感器将光栅的一部分封装在周围填充聚合物的金属空腔里,另一部分固定在金属柱体内。由于固定的光栅部分不受应变的影响,而封装在聚合物的光栅同时受温度和应变的影响,因此该结构可实现温度和应变的分离传感。同时,这种聚合物封装的结构把施加在聚合物上的横向应力巧妙地转化为施加在光栅上的轴向应变,可大大提高其应变传感灵敏度。实验结果表明该传感器不但可以实现压力和温度的同时测量,而且其压力灵敏度系数可达9.65×10-3MPa-1,约为裸光栅的4770倍。 展开更多
关键词 光纤布拉格光栅 光纤传感器 聚合物封装 压力温度传感器
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MT162在压力温度智能传感器信号处理系统中的应用
6
作者 戴新迪 刘玉强 《黑龙江科技信息》 2003年第7期85-85,共1页
一、前言液晶显示器LCD(LIQUID CRYSTAL DISPLAY)是一种极低功耗的显示器,其应用特别广泛,从电子表到计算器,从袖珍式仪表到便携式微型计算机以及一系列文字处理机都利用了液晶显示器。而将LCD控制器、RAM、ROM和LCD显示器融为一体,即... 一、前言液晶显示器LCD(LIQUID CRYSTAL DISPLAY)是一种极低功耗的显示器,其应用特别广泛,从电子表到计算器,从袖珍式仪表到便携式微型计算机以及一系列文字处理机都利用了液晶显示器。而将LCD控制器、RAM、ROM和LCD显示器融为一体,即是液晶显示模块LCM,用户只需输入指令及数据即可实现存储并显示,而且LCM模块与CPU接口容易(见图1)。 展开更多
关键词 MT162 液晶显示器 压力温度传感器 信号处理系统 接口电路 芯片
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硅基TPMS集成传感器研究 被引量:3
7
作者 张兆华 刘兵武 +3 位作者 张艳红 谭智敏 林惠旺 刘理天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1815-1817,共3页
本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置... 本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出. 展开更多
关键词 TPMS、压力传感器温度传感器、压阻效应、应力分布
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基于MPXY8020A芯片的胎压监控系统设计 被引量:5
8
作者 王航宇 《电子技术应用》 北大核心 2009年第7期58-61,共4页
介绍基于MPXY8020A传感器芯片的轮胎压力监控系统,该系统利用压力/温度传感器芯片MPXY8020A和系统级射频芯片,设计了以处理器rfPIC12f675为模块的设计方案,给出了硬件电路及相关程序框图。该系统符合NHTSA轮胎压力监测装置标准,在交通... 介绍基于MPXY8020A传感器芯片的轮胎压力监控系统,该系统利用压力/温度传感器芯片MPXY8020A和系统级射频芯片,设计了以处理器rfPIC12f675为模块的设计方案,给出了硬件电路及相关程序框图。该系统符合NHTSA轮胎压力监测装置标准,在交通安全方面有较好的应用前景。 展开更多
关键词 轮胎压力监控 压力/温度传感器 MPXY8020A RF发射与接收器
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Influence of Temperature on the Inter-pressure of Soil Water Tension with Correcting Method
9
作者 唐玉邦 徐磊 +4 位作者 范如芹 虞利俊 张振华 裴勤 王恒义 《Agricultural Science & Technology》 CAS 2014年第5期838-842,共5页
When the electronic temperature sensor was incorporated into a system of soil water tension and the insidetube temperature was monitored in real time, it is concluded that the inside temperature increased by 26.9 ℃ a... When the electronic temperature sensor was incorporated into a system of soil water tension and the insidetube temperature was monitored in real time, it is concluded that the inside temperature increased by 26.9 ℃ and the inside pressure changed about 14.6 Kpa, when the pottery soil was replaced by the sealing plug. When the soil water was relatively stable in the experimental salvers, the in-side pressure stil varied regularly with the temperature. When the inside temperature increased by 22.2 ℃, the inside pressure varied about 7.4 Kpa. Through com-pensation calculation of the inside tension, the temperature in the warming and cooling periods was compensated, which was useful to correct the tension measurement errors induced from the changing temperature. When the measuring interval was 4 hours and the temperature difference was 18.1 ℃, the tension difference of both points was only 0.278 Kpa, compared to the difference up to 6.5 Kpa before compensation. 展开更多
关键词 Soil moisture Tension meter Temperature compensation Pressure sensor CORRECTION
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TPMS设计方案分析 被引量:1
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作者 徐丽萍 《南京工业职业技术学院学报》 2009年第2期27-30,共4页
针对在汽车行驶时实时对轮胎气压进行自动监测的安全保障预警系统TPMS(Tire Pressure Monitoring Sys-tem),给出了三种TPMS的设计方案,并对设计过程中的关键问题进行了总结,希望对TPMS产品的开发有所帮助。
关键词 TPMS 压力/温度传感器 轮胎监测模块 主机接收显示模块
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基于射频技术的轮胎气压监测系统的设计 被引量:6
11
作者 张立勇 马修水 应中阳 《电子质量》 2006年第6期1-5,共5页
本文采用Motorola的压力/温度传感器MPXY8020A,在改进MotorolaTPMS解决方案的基础上,对TPMS的电路以及软件进行优化设计,该系统可通过键盘设定轮胎标准压力值,测定每个轮胎内部的实际温度和压力,确定故障轮胎并实时通过声光提醒司机采... 本文采用Motorola的压力/温度传感器MPXY8020A,在改进MotorolaTPMS解决方案的基础上,对TPMS的电路以及软件进行优化设计,该系统可通过键盘设定轮胎标准压力值,测定每个轮胎内部的实际温度和压力,确定故障轮胎并实时通过声光提醒司机采取措施,防止事故发生。 展开更多
关键词 射频 TPMS 压力/温度传感器 单片机
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TPMS的设计方案思考 被引量:24
12
作者 颜重光 《电子质量》 2005年第7期1-4,共4页
介绍TPMS的总体设计方案和主要部件的功能。
关键词 TPMS 压力/温度传感器模块 ASK/FSK RF Tx/Rx WaKe-up
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TPMS设计方案的思考 被引量:11
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作者 颜重光 《电子设计应用》 2004年第12期18-22,24,共3页
本文介绍了TPMS的总体设计方案和主要部件的功能,并就器件的选择及设计细节给出了若干建议。
关键词 TPMS 压力/温度传感器模块 ASK/FSK RF Tx/Rx
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