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压印模具的精密制造工艺优化研究 被引量:1
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作者 王立永 李涤尘 卢风兰 《精密制造与自动化》 2003年第1期42-44,共3页
在压印光刻中 ,信息的复制是难点 ,而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分析模具的表面质量 ,得到了... 在压印光刻中 ,信息的复制是难点 ,而模具的制造是信息复制的途径。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。通过分析模具的表面质量 ,得到了压印模具制作的最佳工艺组合。 展开更多
关键词 集成电路 光刻 硅橡胶 压印模具 精密制造 工艺优化
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集成电路压印光刻中压印模具的保真度研究
2
作者 王立永 李涤尘 +1 位作者 李寒松 卢凤兰 《电加工与模具》 2002年第6期34-36,共3页
传统的光刻生产工艺 ,有不可克服的光学极限。压印光刻法为集成电路的生产提供了一种快速、经济的方案。采用电子束直写、步进制模、压印翻制的压印模具生产工艺 ,其模具的制造是目前面临的难点。为了获得高质量的压印模具 ,着重从固化... 传统的光刻生产工艺 ,有不可克服的光学极限。压印光刻法为集成电路的生产提供了一种快速、经济的方案。采用电子束直写、步进制模、压印翻制的压印模具生产工艺 ,其模具的制造是目前面临的难点。为了获得高质量的压印模具 ,着重从固化剂的添加量、固化温度及时间等方面进行分析和研究。通过考查压印模具的平整度、均一性、特征尺寸及模具表面的固化收缩率等的变化 ,得到了压印模具制作的最佳工艺组合。 展开更多
关键词 保真度 集成电路 光刻 电子束直写 硅橡胶 压印模具
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电场诱导压印模具的套刻制备及其实验
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作者 黎相孟 田洪淼 祝锡晶 《电加工与模具》 2020年第1期70-74,共5页
电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战。提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构... 电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战。提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构高度,展示了几种不同形状、尺寸的模具结构,并对结构进行了表征。基于电场诱导模具搭建了试验平台,并在导电模具和基材之间施加电场,通过SEM观察成形结果得到,该结果与预计的电场诱导压印复制结构相似,验证了电场诱导套刻模具的适用性。 展开更多
关键词 电场诱导 压印模具 紫外光刻 套刻 等离子体刻蚀
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银币压印模具表面离子束增强沉积改性应用
4
作者 杨根庆 吕迎兰 《上海微电子技术和应用》 1995年第3期34-38,62,共6页
关键词 银币 压印模具 表面离子束 增强沉积 改性
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一种提高压印光刻软模复制精度的方法
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作者 王立永 李涤尘 卢凤兰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期627-628,631,共3页
由于传统的光刻生产工艺有透镜光学极限性 ,压印光刻为集成电路的生产提供了一种新思路。在压印光刻中 ,模具的制造是重点。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加量、真空压力大小、固化温度、固化时... 由于传统的光刻生产工艺有透镜光学极限性 ,压印光刻为集成电路的生产提供了一种新思路。在压印光刻中 ,模具的制造是重点。为了获得高精度的压印模具 ,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加量、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究。采用正交实验方式和数理方差分析 ,通过检测压印模具的平整度、一致性、特征尺寸及模具表面的固化收缩率等参数的变化 ,特别是模具的特征尺寸变化 。 展开更多
关键词 集成电路 光刻 硅橡胶 压印模具
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如何解决注塑机机头溢料的问题 被引量:1
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作者 金宝珍 《橡塑机械时代》 2012年第6期45-46,共2页
注塑机机头溢料又称飞边、溢边、披锋等,大多发生在模具的分合位置上。如:模具的分型面,滑块的滑配部位,镶件的缝隙,顶杆的孔隙等处。溢料不及时解决将会进一步扩大化,从而压印模具形成局部陷塌,造成永久性损害。镶件缝隙和顶杆... 注塑机机头溢料又称飞边、溢边、披锋等,大多发生在模具的分合位置上。如:模具的分型面,滑块的滑配部位,镶件的缝隙,顶杆的孔隙等处。溢料不及时解决将会进一步扩大化,从而压印模具形成局部陷塌,造成永久性损害。镶件缝隙和顶杆孔隙的溢料还会使制品卡在模上,影响脱模。 展开更多
关键词 注塑机 溢料 机头 压印模具 分型面 永久性 缝隙 镶件
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如何解决注塑机机头溢料的问题
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《橡塑智造与节能环保》 2017年第2期59-59,共1页
注塑机机头溢料又称飞边、溢边、披锋等,大多发生在模具的分合位置上。如:模具的分型面,滑块的滑配部位,镶件的缝隙,顶杆的孔隙等处。溢料不及时解决将会进一步扩大化,从而压印模具形成局部陷塌,造成永久性损害。
关键词 注塑机 溢料 机头 压印模具 分型面 永久性 飞边 滑块
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Morphology and structure evolution of metallic nanowire arrays prepared by die nanoimprinting
8
作者 Xue Liu Yang Shao Zhidong Han Kefu Yao 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期629-633,M0003,共6页
Metallic nanowire arrays (NWAs) possess wide application prospects due to their unique property, and the tailoring of NWAs' structure and morphology is of importance since it would significantly influence the per- ... Metallic nanowire arrays (NWAs) possess wide application prospects due to their unique property, and the tailoring of NWAs' structure and morphology is of importance since it would significantly influence the per- formance of NWAs. In the present work, the morphology and structure evolution of the NWAs prepared by the newly developed die nanoimprinting technique has been investigated in detail. It was found that increasing pro- cessing temperature, time and pressure could increase the length of the nanowires and change the NWAs' morphol- ogy from monodispersed form to aggregated form. Increasing processing time and temperature within the supercooled liquid region would promote crystallization, while increasing processing pressure could suppress the crystallization. This work provided important insights into the structure and morphology evolution, and therefore, the tailoring of metallic NWAs prepared by die nanoimprinting through adjusting the process parameters. 展开更多
关键词 Metallic glasses (MGs) Nanowirearrays Die nanoimprinting Morphology evolution
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