五自由度纳米级定位工作台的设计研究

提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位。给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例。

大行程高分辨率微定位机构的设计分析

压电驱动器的位移输出能力有限,因此通常借助于柔性机构对其位移量进行放大。对常用的柔性放大机构的性能进行了分析。提出一种柔性八杆放大机构,并对其进行有限元分析和理论计算。为了提高放大率,提出两级串连式机构。机构整体具有结构紧凑、放大效率较高的优点。

五自由度纳米级定位精度机构的研制

提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件,柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成,实现一体化加工,而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计算公式及设计实例。

大行程高分辨率微定位机构的设计分析

压电驱动器的位移输出能力有限,通常借助于柔性机构对其位移量进行放大。提出一种柔性八杆放大机构,并对 其进行有限元分析和理论计算。为了提高放大率,提出两级串连式机构。机构整体具有结构紧凑、放大效率较高的优点。