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压电探针应用于原子力显微镜液体成像的研究 被引量:6
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作者 李艳宁 赵倩云 +5 位作者 王忠顺 房轩 宋丽薇 李树民 傅星 胡小唐 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期341-343,372,共4页
研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法,比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能,以标准生理溶液中的海拉细胞为样品,对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究... 研究了采用微悬臂梁上集成的ZnO压电薄膜作为微驱动的探针的直接激振方法,比较了间接激振和直接激振方法下探针在液体中的振动性能,以标准生理溶液中的海拉细胞为样品,对原子力显微镜在液体环境下轻敲模式的成像性能进行了实验研究.研究表明,采用压电探针的直接激振方法在探针振动的幅频曲线中仅有单一谐振峰,可以避免在压电陶瓷管激振方法下由液体振动造成的寄生谐振峰,因此使用压电探针不仅提高了探针振动频率的控制精度,而且减小了针尖对样品的损坏,还提高了仪器的带宽和成像速度.对于512×512点阵和60μm×60μm范围的图像,使用该方法可将采集速度由原来的2~3min/帧提高到15-20s/帧,并且扫描速度的提高对原子力显微镜在动态过程中的研究有着重要的参考价值. 展开更多
关键词 原子力显微镜 压电探针 微悬臂梁 轻敲模式
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压电微悬臂梁探针的制作工艺研究 被引量:2
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作者 崔岩 张吕权 +1 位作者 夏劲松 王立鼎 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期79-82,共4页
为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使... 为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础. 展开更多
关键词 压电探针 局部压电 纳米硅尖 弹性常数
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板料弯曲载荷测试用压电式探针测力传感器设计 被引量:1
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作者 李孟祥 龚红英 +4 位作者 曹磊 赵小云 张镨丹 崔智帏 廖泽寰 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期156-162,共7页
在弯曲模具成形板料的载荷测试中,普通传感器因信噪比不高、测试空间狭小而可能产生功能失效。根据金属在塑性成形时的应力分布规律,设计了一种压电式探针测力传感器,当探针的一端受到板料弯曲变形对其的挤压作用时,产生的应力沿探针轴... 在弯曲模具成形板料的载荷测试中,普通传感器因信噪比不高、测试空间狭小而可能产生功能失效。根据金属在塑性成形时的应力分布规律,设计了一种压电式探针测力传感器,当探针的一端受到板料弯曲变形对其的挤压作用时,产生的应力沿探针轴向传播,通过测量探针所受载荷,可得到整板的弯曲成形力。为了检验压电式探针测力传感器的性能,特别设计了一副弯曲组合模具,并将压电式探针测力传感器倾斜安装在模具型腔中,测试板料在弯曲成形中所受载荷,经反复试验,并将测试结果与经验公式计算结果进行比对,测试偏差在可接受范围内,结果证明传感器性能是稳定可靠的。 展开更多
关键词 弯曲载荷 压电探针测力传感器 组合模具 测试系统 弯曲成形
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Thermal and piezoelectric properties of Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12) thin film prepared by metal organic decomposition
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作者 胡和平 戴顺洪 +4 位作者 郑学军 周益春 冯雪 张大志 何林 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第8期1424-1428,共5页
Bi3.15Nd0.85Ti3O12 (BNT) powder and thin film were prepared by metal organic decomposition (MOD) method. The heat flow curve of BNT powder was measured with a modulated temperature differential scanning calorimete... Bi3.15Nd0.85Ti3O12 (BNT) powder and thin film were prepared by metal organic decomposition (MOD) method. The heat flow curve of BNT powder was measured with a modulated temperature differential scanning calorimeter, and thermal physical parameters such as thermal conductivity coefficient and thermal diffusion coefficient were obtained from the heat flow curve. The phase identification, ferroelectric, and piezoelectric properties of BNT thin film annealed at 700℃ were investigated with X-ray diffractometer, ferroelectric analyzer, and scanning probe microscope. The results show that the thin films consisting of a single phase of bismuth-layered perovskite are polycrystalline, without a preferred orientation. Remnant polarization 2Pr is 63.2 μC/cm2 under 530 kV/cm applied field, and the effective piezoelectric coefficient d33 is 30 pm/V. 展开更多
关键词 bismuth-layered perovskite metal organic decomposition (MOD) thermal parameter remnant polarization effective piezoelectric coefficient
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