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压电悬臂在原子力显微镜中的应用
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作者 赵耀 《科技开发动态》 1994年第3期63-63,共1页
东京大学前沿科学技术研究中心(RCAST)的专家小组研制出一种新型原子力显微镜(AFM)。这种显微镜能够在各种极端环境(例如超真空和超低温)条件下工作。
关键词 压电悬臂 原子力显微镜 东京大学前沿科学技术研究中心 压电薄膜传感材料 结构
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