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基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器 被引量:3
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作者 林荣辉 孙翠敏 +3 位作者 尤晖 张瑞 杨明鹏 李小军 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期851-854,860,共5页
该文提出一种柔性的微机电系统(MEMS)超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和... 该文提出一种柔性的微机电系统(MEMS)超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用直流磁控溅射制作上、下电极,反应射频磁控溅射制作氧化锌压电薄膜。薄膜间粘合牢固,可反复弯折。SEM和XRD结果表明,氧化锌薄膜厚度可达4~8μm,具有高度(002)择优取向的柱状晶结构。根据XRD所得的结果计算了薄膜平均晶粒尺寸和内应力大小,结果表明,晶粒尺寸约为22nm,薄膜内压应力约为-1.248 4GPa。利用激光多普勒测得其共振频率约为5MHz。同时,研究发现,较厚的ZnO薄膜使振幅变大,导致振动品质因数(Q)值增加。 展开更多
关键词 压电 射频磁控溅射 氧化锌薄膜 柔性超声波器件 压电薄膜表征
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Investigation and characterization of an arc-shaped piezoelectric generator 被引量:2
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作者 HAN MengDi LIU Wen +2 位作者 ZHANG XiaoSheng MENG Bo ZHANG HaiXia 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第11期2636-2641,共6页
A novel arc-shaped piezoelectric generator based on flexible PVDF thin film is presented and systemically studied.With a periodical external force,the generator can produce peak voltage of 45.6 V and peak power of 30.... A novel arc-shaped piezoelectric generator based on flexible PVDF thin film is presented and systemically studied.With a periodical external force,the generator can produce peak voltage of 45.6 V and peak power of 30.7μW.The maximum power density reaches 38.4μW/cm3with a 4 cm×2 cm×100μm device,at the optimum load resistance of 33.33 MOhm.The influence of frequency,size dimension and load resistance are investigated through experimental measurements.With this high output arc-shaped generator,capacitors can be effectively charged and three commercial LEDs have been directly lighted without any energy storage unit. 展开更多
关键词 piezoelectric generator arc-shaped PVDF high output self-powered system
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