压电超声微电机的研究现状与应用前景

从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。

采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析

本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．

压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析

压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件，定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了ＲａｙｌｅｉｇｈＲｉｔｚ方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。

1mm压电柱式超声微电机的研制

介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800 rpm的转速和4 μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5 mm左右。