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压电超声微电机的研究现状与应用前景
被引量:
4
1
作者
栗大超
靳世久
+1 位作者
曾周末
赵伯雷
《微电机》
2001年第3期31-34,共4页
从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。
关键词
压电超声微电机
MEMS
直梁结构
压电
材料
下载PDF
职称材料
采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析
被引量:
2
2
作者
张健
沈德新
王渭源
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期212-217,共6页
本文首次采用了Rayleigh-Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性.研究了平面内应力(in-planestress)和弯曲应力(flexuralstress)对固有频率的影响.模拟计算和实验结果符合得较好.此外还...
本文首次采用了Rayleigh-Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性.研究了平面内应力(in-planestress)和弯曲应力(flexuralstress)对固有频率的影响.模拟计算和实验结果符合得较好.此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响.
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关键词
半导体
微电子机械学
压电超声微电机
固有频率
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职称材料
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
被引量:
1
3
作者
张健
沈德新
王渭源
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第2期95-102,共8页
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲...
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
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关键词
固有频率
压电超声微电机
微电机
多层膜
原文传递
1mm压电柱式超声微电机的研制
被引量:
18
4
作者
张凯
周铁英
+4 位作者
王欢
袁世明
郭钊
姜开利
白桂珍
《声学学报》
EI
CSCD
北大核心
2004年第3期258-261,共4页
介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方...
介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800 rpm的转速和4 μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5 mm左右。
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关键词
压电
柱式
超声
微电机
弯曲振动模态
驱动电压
极化方式
电极间隔
堵转力炬
逆
压电
效应
下载PDF
职称材料
专利快讯
5
《微特电机》
北大核心
2005年第11期48-48,共1页
关键词
专利名称
压电超声微电机
永磁同步
电机
交流伺服
电机
温度控制器
制备方法
压敏陶瓷
TIO2
补偿控制
电阻器
下载PDF
职称材料
题名
压电超声微电机的研究现状与应用前景
被引量:
4
1
作者
栗大超
靳世久
曾周末
赵伯雷
机构
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
出处
《微电机》
2001年第3期31-34,共4页
基金
教育部博士点基金资助课题 (19990 0 5 6 0 7)
文摘
从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向 ;以此展开 ,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术 。
关键词
压电超声微电机
MEMS
直梁结构
压电
材料
Keywords
piezoelectric ultrasonic micro motor
MEMS
research status
development direction
key technology
application future
分类号
TM38 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析
被引量:
2
2
作者
张健
沈德新
王渭源
机构
中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期212-217,共6页
基金
国家攀登计划!"微电子机械系统"资助项目
文摘
本文首次采用了Rayleigh-Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性.研究了平面内应力(in-planestress)和弯曲应力(flexuralstress)对固有频率的影响.模拟计算和实验结果符合得较好.此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响.
关键词
半导体
微电子机械学
压电超声微电机
固有频率
Keywords
Electric motors
Frequency domain analysis
Micromachining
Stators
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
被引量:
1
3
作者
张健
沈德新
王渭源
机构
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第2期95-102,共8页
基金
国家攀登计划B"微电子机械系统"资助项目
文摘
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
关键词
固有频率
压电超声微电机
微电机
多层膜
Keywords
Hybrid structure stator, stress, intrinsic frequency, deflection
分类号
TM386.033 [电气工程—电机]
原文传递
题名
1mm压电柱式超声微电机的研制
被引量:
18
4
作者
张凯
周铁英
王欢
袁世明
郭钊
姜开利
白桂珍
机构
清华大学物理系
出处
《声学学报》
EI
CSCD
北大核心
2004年第3期258-261,共4页
基金
国家自然科学基金(10154001)
北京市自然科学基金(3012007)资助项目
文摘
介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800 rpm的转速和4 μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5 mm左右。
关键词
压电
柱式
超声
微电机
弯曲振动模态
驱动电压
极化方式
电极间隔
堵转力炬
逆
压电
效应
Keywords
Microelectrodes
Microelectromechanical devices
Motors
Piezoelectric devices
Stators
分类号
TM38 [电气工程—电机]
下载PDF
职称材料
题名
专利快讯
5
出处
《微特电机》
北大核心
2005年第11期48-48,共1页
关键词
专利名称
压电超声微电机
永磁同步
电机
交流伺服
电机
温度控制器
制备方法
压敏陶瓷
TIO2
补偿控制
电阻器
分类号
TM351 [电气工程—电机]
TS941.56 [轻工技术与工程—服装设计与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电超声微电机的研究现状与应用前景
栗大超
靳世久
曾周末
赵伯雷
《微电机》
2001
4
下载PDF
职称材料
2
采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析
张健
沈德新
王渭源
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
2
下载PDF
职称材料
3
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
张健
沈德新
王渭源
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997
1
原文传递
4
1mm压电柱式超声微电机的研制
张凯
周铁英
王欢
袁世明
郭钊
姜开利
白桂珍
《声学学报》
EI
CSCD
北大核心
2004
18
下载PDF
职称材料
5
专利快讯
《微特电机》
北大核心
2005
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
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