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压电超精密定位台的动态迟滞建模研究
被引量:
10
1
作者
杨晓京
李庭树
刘浩
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第10期2492-2499,共8页
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台...
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到,对比Backlash-Like模型,动态迟滞模型在频率为30和40 Hz时,最大输出位移误差由1.21和1.39μm下降到0.32和0.44μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%,平均位移误差由0.53和0.76μm下降到0.17和0.21μm,平均相对误差由1.93%和3.38%下降到1.11%和1.37%。实验结果验证了提出的动态迟滞模型,既能减小了因压电超精密定位台的动态特性而引起的系统误差,又能很好地模拟其迟滞特性与动态特性,并且避免了不同频率下的模型参数反复辨识问题,提高了压电超精密定位台在高频、快速、大行程定位中的精度。该方法简单且适应性强,易于工程实现。
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关键词
压电超精密定位台
Backlash-Like迟滞模型
遗传因子的递推最小二乘法
动态模型
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职称材料
题名
压电超精密定位台的动态迟滞建模研究
被引量:
10
1
作者
杨晓京
李庭树
刘浩
机构
昆明理工大学机电工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第10期2492-2499,共8页
基金
国家自然科学基金(51365021)项目资助
文摘
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识Backlash-Like模型的参数,并结合压电超精密定位台的动态特性,建立了压电超精密定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到,对比Backlash-Like模型,动态迟滞模型在频率为30和40 Hz时,最大输出位移误差由1.21和1.39μm下降到0.32和0.44μm,且最大相对误差分别仅为3.5%和4.4%,平均位移误差由0.53和0.76μm下降到0.17和0.21μm,平均相对误差由1.93%和3.38%下降到1.11%和1.37%。实验结果验证了提出的动态迟滞模型,既能减小了因压电超精密定位台的动态特性而引起的系统误差,又能很好地模拟其迟滞特性与动态特性,并且避免了不同频率下的模型参数反复辨识问题,提高了压电超精密定位台在高频、快速、大行程定位中的精度。该方法简单且适应性强,易于工程实现。
关键词
压电超精密定位台
Backlash-Like迟滞模型
遗传因子的递推最小二乘法
动态模型
Keywords
piezoelectric ultra precision positioning stage
Backlash-Like hysteresis model
recursive least square (RLS) based on genetic algorithm
Dynamic model
分类号
TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH701 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电超精密定位台的动态迟滞建模研究
杨晓京
李庭树
刘浩
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
10
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职称材料
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