基于压电陶瓷微动平台逆模型的复合控制方法

本文研究了用于扫描离子电导显微镜(SICM)中的压电陶瓷微动平台的高精度定位问题。基于压电陶瓷逆模型进行前馈补偿的思想,在实验平台上进行了基于逆模型的前馈控制、基于PID的反馈控制与基于迟滞逆模型补偿PID反馈的复合控制的对比实验。实验结果表明,采用基于迟滞逆模型的复合控制,当压电陶瓷微动平台微位移范围为0-80μm时,最大跟随误差为1.003μm,且最大非线性度为1.25%,该控制方法对提高压电陶瓷微动平台定位精度具有有效性。