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压电驱动技术研究进展与展望
被引量:
1
1
作者
刘英想
邓杰
+2 位作者
常庆兵
张仕静
陈维山
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期1045-1061,1239,共18页
压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势,在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求,已成为高端装备...
压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势,在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求,已成为高端装备向高精尖发展的一项核心技术。压电驱动技术可为高端装备的突破和发展提供坚实的基础,具有重要的科学意义和实用价值。首先,从高端装备发展对精密驱动技术的实际需求出发,系统阐述了压电驱动技术的定义、分类及特点;其次,介绍了压电驱动技术的研究现状,并对压电驱动技术的典型应用进行了概述和分析;最后,对压电驱动技术进行了讨论与展望。
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关键词
压电驱动技术
纳米级精密
驱动
共振型
压电
驱动
器
非共振型
压电
驱动
器
超精密操控
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职称材料
现代驱动技术综述
被引量:
9
2
作者
叶云岳
《电机技术》
2005年第1期3-7,共5页
介绍现代驱动技术的主要类型与特点,它的研究、应用与国内外的发展状况。
关键词
电机
控制系统
现代
驱动
技术
电磁
驱动
技术
电磁原理
压电驱动技术
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职称材料
一种适用于微操作的驱动技术
3
作者
李德选
罗翔
+1 位作者
田梦倩
颜景平
《机械设计》
CSCD
北大核心
2004年第12期1-3,共3页
随着微机电系统 (MicroElectro -MechanicalSystems ,MEMS)研究的日渐发展 ,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究 ,其重要性也越来越显示出来。从装配的微操作出发 ,介绍了微操作的基本概念 ,对应用于微操作的压电驱动技...
随着微机电系统 (MicroElectro -MechanicalSystems ,MEMS)研究的日渐发展 ,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究 ,其重要性也越来越显示出来。从装配的微操作出发 ,介绍了微操作的基本概念 ,对应用于微操作的压电驱动技术的原理、特点、现状及研究热点进行了详尽的阐述 。
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关键词
微操作
压电驱动技术
位移放大
控制策略
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职称材料
具有大行程的步进型压电致动器研究综述
被引量:
1
4
作者
张韬
马瑞
+3 位作者
王阳
陈玉国
张健
王宇航
《重庆理工大学学报(自然科学)》
北大核心
2023年第9期280-294,共15页
为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这3...
为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这3种压电致动器的运动原理和发展现状,指出了存在的问题与不足。
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关键词
压电驱动技术
压电
致动器
步进式
压电
驱动
纳米级定位
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职称材料
压电驱动在超精密加工领域的应用现状与发展趋势综述
5
作者
肖晓兰
林健鑫
+5 位作者
区楚塬
张锦河
郑美思
李享
秦岩丁
田延岭
《机电工程技术》
2024年第7期34-40,共7页
超精密加工中,为实现微/纳米级的加工精度,必须提供更高精度的驱动装置和控制技术。压电驱动具有精度高、振动频率高、力密度高、响应快、无电磁干扰、能断电自锁和优良的环境适应性等优点,被广泛应用在超精密加工领域,已成为超精密加...
超精密加工中,为实现微/纳米级的加工精度,必须提供更高精度的驱动装置和控制技术。压电驱动具有精度高、振动频率高、力密度高、响应快、无电磁干扰、能断电自锁和优良的环境适应性等优点,被广泛应用在超精密加工领域,已成为超精密加工技术中的一项核心关键技术。首先系统阐述了压电驱动技术的致动原理、分类和特点,对压电驱动的致动原理和发展现状进行了分析;然后从加工、定位和抑制振动3个方面介绍了压电驱动技术在超精密加工中的应用现状,最后对压电驱动技术的发展方向进行了讨论及展望。
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关键词
压电驱动技术
超精密
驱动
超精密加工
驱动
控制
驱动
应用
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职称材料
题名
压电驱动技术研究进展与展望
被引量:
1
1
作者
刘英想
邓杰
常庆兵
张仕静
陈维山
机构
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
出处
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期1045-1061,1239,共18页
基金
国家自然科学基金资助项目(52225501,5210051275)。
文摘
压电驱动具有结构简单、构型多样、力密度高、精度高、响应快、断电自锁、无电磁干扰以及环境适应性好等突出优势,在超精加工、半导体制造、机器人、精密仪器、生命科学、航空航天和武器装备等领域均具有迫切的应用需求,已成为高端装备向高精尖发展的一项核心技术。压电驱动技术可为高端装备的突破和发展提供坚实的基础,具有重要的科学意义和实用价值。首先,从高端装备发展对精密驱动技术的实际需求出发,系统阐述了压电驱动技术的定义、分类及特点;其次,介绍了压电驱动技术的研究现状,并对压电驱动技术的典型应用进行了概述和分析;最后,对压电驱动技术进行了讨论与展望。
关键词
压电驱动技术
纳米级精密
驱动
共振型
压电
驱动
器
非共振型
压电
驱动
器
超精密操控
Keywords
Piezoelectric actuation technology
nanometer precision actuation
resonant piezoelectric actuator
non-resonant piezoelectric actuator
ultra-precision control
分类号
TB552 [理学—声学]
O426.9 [理学—声学]
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职称材料
题名
现代驱动技术综述
被引量:
9
2
作者
叶云岳
机构
浙江大学
出处
《电机技术》
2005年第1期3-7,共5页
文摘
介绍现代驱动技术的主要类型与特点,它的研究、应用与国内外的发展状况。
关键词
电机
控制系统
现代
驱动
技术
电磁
驱动
技术
电磁原理
压电驱动技术
Keywords
Modern drive technologyElectric machineUltrasonicMagnetostrictionShape memory alloyLightSuperconductor
分类号
TM301.2 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
一种适用于微操作的驱动技术
3
作者
李德选
罗翔
田梦倩
颜景平
机构
东南大学机械工程系
出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2004年第12期1-3,共3页
基金
东南大学自然科学基金预研项目
文摘
随着微机电系统 (MicroElectro -MechanicalSystems ,MEMS)研究的日渐发展 ,灵活、稳定的微操作器作为微机电系统的一项基础研究 ,其重要性也越来越显示出来。从装配的微操作出发 ,介绍了微操作的基本概念 ,对应用于微操作的压电驱动技术的原理、特点、现状及研究热点进行了详尽的阐述 。
关键词
微操作
压电驱动技术
位移放大
控制策略
Keywords
micro manipulation
piezoelectric driving technology
displacement amplification
controlling strategy
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
具有大行程的步进型压电致动器研究综述
被引量:
1
4
作者
张韬
马瑞
王阳
陈玉国
张健
王宇航
机构
东北林业大学机电工程学院
出处
《重庆理工大学学报(自然科学)》
北大核心
2023年第9期280-294,共15页
基金
黑龙江省重点研发计划指导类项目(GZ20220114)
中央高校项目(2572022BF03)。
文摘
为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器。重点介绍了步进型压电致动器的3种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这3种压电致动器的运动原理和发展现状,指出了存在的问题与不足。
关键词
压电驱动技术
压电
致动器
步进式
压电
驱动
纳米级定位
Keywords
piezoelectric drive technology
piezo actuators
step-type piezoelectric drive
nanoscale positioning
分类号
TM359.9 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
压电驱动在超精密加工领域的应用现状与发展趋势综述
5
作者
肖晓兰
林健鑫
区楚塬
张锦河
郑美思
李享
秦岩丁
田延岭
机构
广东工业大学机电工程学院
出处
《机电工程技术》
2024年第7期34-40,共7页
基金
省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室开放课题资助(JMDZ2021007,JMDZ2021009)。
文摘
超精密加工中,为实现微/纳米级的加工精度,必须提供更高精度的驱动装置和控制技术。压电驱动具有精度高、振动频率高、力密度高、响应快、无电磁干扰、能断电自锁和优良的环境适应性等优点,被广泛应用在超精密加工领域,已成为超精密加工技术中的一项核心关键技术。首先系统阐述了压电驱动技术的致动原理、分类和特点,对压电驱动的致动原理和发展现状进行了分析;然后从加工、定位和抑制振动3个方面介绍了压电驱动技术在超精密加工中的应用现状,最后对压电驱动技术的发展方向进行了讨论及展望。
关键词
压电驱动技术
超精密
驱动
超精密加工
驱动
控制
驱动
应用
Keywords
piezoelectric drive technology
ultra-precision drive
ultra-precision machining
drive control
driver application
分类号
TH139 [机械工程—机械制造及自动化]
TH113.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电驱动技术研究进展与展望
刘英想
邓杰
常庆兵
张仕静
陈维山
《振动.测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2022
1
下载PDF
职称材料
2
现代驱动技术综述
叶云岳
《电机技术》
2005
9
下载PDF
职称材料
3
一种适用于微操作的驱动技术
李德选
罗翔
田梦倩
颜景平
《机械设计》
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
4
具有大行程的步进型压电致动器研究综述
张韬
马瑞
王阳
陈玉国
张健
王宇航
《重庆理工大学学报(自然科学)》
北大核心
2023
1
下载PDF
职称材料
5
压电驱动在超精密加工领域的应用现状与发展趋势综述
肖晓兰
林健鑫
区楚塬
张锦河
郑美思
李享
秦岩丁
田延岭
《机电工程技术》
2024
下载PDF
职称材料
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