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压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究 被引量:6
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作者 郭涛 石云波 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期489-491,共3页
介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法 ,详细阐述了硅压阻式加速度传感器 30 2 8的补偿方法 ,给出了实验数据。该补偿方法使用元器件少 ,补偿简单 。
关键词 压阻式硅基传感器 温度补偿 PN结 补偿方
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