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压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究
被引量:
6
1
作者
郭涛
石云波
张文栋
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期489-491,共3页
介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法 ,详细阐述了硅压阻式加速度传感器 30 2 8的补偿方法 ,给出了实验数据。该补偿方法使用元器件少 ,补偿简单 。
关键词
压阻式硅基传感器
温度补偿
PN结
补偿方
式
下载PDF
职称材料
题名
压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究
被引量:
6
1
作者
郭涛
石云波
张文栋
机构
教育部仪器科学与动态测试重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期489-491,共3页
文摘
介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法 ,详细阐述了硅压阻式加速度传感器 30 2 8的补偿方法 ,给出了实验数据。该补偿方法使用元器件少 ,补偿简单 。
关键词
压阻式硅基传感器
温度补偿
PN结
补偿方
式
Keywords
pn junction
temperature compensation
piezoresistance sensor
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究
郭涛
石云波
张文栋
《微纳电子技术》
CAS
2003
6
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职称材料
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