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一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
被引量:
1
1
作者
曾雪锋
岳瑞峰
+3 位作者
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期271-272,共2页
利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
关键词
ICP-CVD碳氟聚合物
厌水材料
TEFLON
下载PDF
职称材料
题名
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
被引量:
1
1
作者
曾雪锋
岳瑞峰
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
机构
清华大学微电子学研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期271-272,共2页
基金
清华大学基础研究基金资助项目(JC2003060)
文摘
利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
关键词
ICP-CVD碳氟聚合物
厌水材料
TEFLON
Keywords
ICP-CVD Fluorocarbon polymer Hydrophobic materials Teflon
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备
曾雪锋
岳瑞峰
吴建刚
胡欢
董良
刘理天
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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