凸度检测系统厚度测量精度分析

凸度检测技术可在线测量板带材的断面轮廓,并实时反馈到连轧控制系统中,实现凸度控制,在冶金工业中得到广泛应用。该项技术有厚度测量范围大、测量精度要求高的特点。本文从理论上分析了厚度测量精度的影响因素,建立了系统信号涨落模型,并在建成的凸度检测系统样机上进行了实验验证,理论与实验符合较好。

基于碲锌镉探测器的高精度毫米级厚度测量技术研究

目前厚度测量精度不高或者测量方式复杂,为设计一套操作简单、高效、无损、适用范围广的高精度厚度测量装置,本研究利用^(241)Am放射源和碲锌镉(CZT)探测器,开发一套高精度厚度测量系统,同时提出采用测量条件补偿法实现样品无损、高精度在线测量。利用Geant4程序对厚度测量系统进行模拟设计,确定准直孔尺寸、源与探测器相对位置和屏蔽层厚度等关键参数。利用搭建的厚度测量系统测量纸张、圆台型样品、陶瓷和高速钢等样品。结果表明,该系统对厚度精度在百微米量级时,可以实现高效、实时在线厚度测量;当对测量精度要求提高时,通过延长测量时间、采用测量条件补偿法等,可实现高精度测量。对于1 mm厚的物质,测量精度可达1μm;该系统长时间工作稳定,24 h内相对标准偏差约为0.057%。

RM312板形仪厚度精度及稳定性的提高

分析RM312板形仪系统从调试到生产中硬件和软件中存在的问题和不足,研究解决的方法和可行性,采取相应措施对设备硬件和软件系统中存在的不足进行改造和优化,从而提高板形仪系统的厚度测量精度及设备运行的稳定性。

晶圆表面金属薄膜的纳米精度在线测量方法与实现

本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光(CMP)中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的影响规律,得到了提高灵敏度的新方法;实验验证了一种减小提离高度对膜厚测量精度影响的测量方法的有效性,并设计开发了快速多频测试系统;设计了电涡流在线和离线检测系统,并成功应用于国家重大专项项目"超低下压力化学机械抛光装备样机"中,实现了用电涡流方法进行全自动、快速、多模式、大提离条件下的晶圆金属膜厚度纳米级分辨率在线测量和晶圆抛光后铜膜厚度离线全局测量。