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厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
1
作者
陈建群
马以武
+1 位作者
唐力强
王正宏
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第1期33-35,38,共4页
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制...
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。
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关键词
厚膜压阻式传感器
导电性能
掺杂改性
灵敏系数
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职称材料
题名
厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
1
作者
陈建群
马以武
唐力强
王正宏
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第1期33-35,38,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60374050)
文摘
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。
关键词
厚膜压阻式传感器
导电性能
掺杂改性
灵敏系数
Keywords
thick-film piezoresistive sensors
conductive characteristics
charactertistics with addition
gauge factor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
陈建群
马以武
唐力强
王正宏
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
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