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膜厚影响SnO_2厚膜型气敏元件敏感特性的研究 被引量:1
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作者 傅军 董名友 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1255-1258,共4页
采用丝网印刷技术制备不同膜厚SnO2厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控... 采用丝网印刷技术制备不同膜厚SnO2厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要. 展开更多
关键词 SnO2元件 热处理 特征 二氧化锡 厚膜型气敏元件 材料
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厚膜型气敏元件
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《国外传感技术》 2003年第5期188-189,共2页
关键词 厚膜型气敏元件 绝缘衬底 金属氧化物半导体层 电极
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超细MgFe_2O_4复合氧化物的气敏性能研究 被引量:5
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作者 杨留方 李星 +1 位作者 赵鹤云 吴兴惠 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期15-17,共3页
以FeSO4·7H2O和MgCl2·6H2O为材料,用新型化学共沉淀法制备了纳米尺寸的复合金属氧化物MgFe2O4粉体。将样品做成厚膜型气敏元件,测定了其对乙醇、甲醛、丙酮、甲苯、苯氨气、石油醚等还原(可燃)性气体的气敏特性。测试显示:70... 以FeSO4·7H2O和MgCl2·6H2O为材料,用新型化学共沉淀法制备了纳米尺寸的复合金属氧化物MgFe2O4粉体。将样品做成厚膜型气敏元件,测定了其对乙醇、甲醛、丙酮、甲苯、苯氨气、石油醚等还原(可燃)性气体的气敏特性。测试显示:700℃下,热处理1h,所得纳米微粉制作的元件在300℃工作温度下对丙酮有较高灵敏度和良好的选择性,并对气敏机理给予了解释。 展开更多
关键词 超细 丙酮 复合金属氧化物 粉体 MGCL2 石油醚 复合氧化物 厚膜型气敏元件 性能
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ZrO_2掺杂的SnO_2厚膜的制备及性能研究
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作者 邓文武 《咸宁学院学报》 2003年第3期49-51,共3页
采用化学共沉淀法和丝绸印刷法成功地制备了ZrO2 掺杂的SnO2 厚膜型气敏传感材料 ,研究了不同掺杂量 ,不同烧结温度的厚膜材料的电学性能及气敏性能 .实验结果表明 :掺杂降低了纯SnO2 厚膜的电阻及敏感温区的温度 ;不同的烧结温度对气... 采用化学共沉淀法和丝绸印刷法成功地制备了ZrO2 掺杂的SnO2 厚膜型气敏传感材料 ,研究了不同掺杂量 ,不同烧结温度的厚膜材料的电学性能及气敏性能 .实验结果表明 :掺杂降低了纯SnO2 厚膜的电阻及敏感温区的温度 ;不同的烧结温度对气敏性能影响较大 ,在 2 0 0℃下对 2 0ppm的H2 S气体具有较好的灵敏度 (S =5 .2 ) ,响应恢复时间均小于 1min . 展开更多
关键词 SnO2(ZrO2)超微粉 厚膜型气敏元件
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