基于厚铜工艺的高Q值片上螺旋电感研究

为了减少片上螺旋电感的金属导体损耗,基于200mm晶圆的铜后道互连工艺线,开发了适用于射频电路的3μm厚铜工艺。流片测试结果显示,基于低阻硅衬底制作的电感器件在很宽的频率范围内,其品质因子Q值超过10,最高达到19.1;建立了用于电路设计的精确电感宏模型,根据该模型仿真与实测得到的电感Q值与L值随频率变化的比较,发现在20GHz的频率应用范围内该模型具有较高的精度,误差基本在10%以内,能够满足射频电路设计的需要。

依靠技术进步增强企业竞争能力

十年改革,带来了企业竞争机制。尤其是电镀行业,乡镇企业星罗棋布,竞争十分激烈。企业的竞争说到底是技术的竞争、管理的竞争。我们上海南市电镀厂在竞争中克服了经济滑坡,现在每月产值七、八十万元,利润十多万元。这里我仅就技术进步、企业得益的情况向大家汇报一下。一、采用厚铜薄镍工艺我们是经营防护装饰性电镀的专业厂。