期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
1
作者
张晔
解启林
+1 位作者
朱启政
孙建强
《新技术新工艺》
2008年第6期78-80,共3页
采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。通过试验确定了钛酸锶钡电光材料进行溅射镀厚膜时的工艺参数,并对膜层的表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。
关键词
钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
下载PDF
职称材料
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
2
作者
张晔
解启林
朱启政
《科技资讯》
2007年第22期16-17,共2页
本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。
关键词
钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
下载PDF
职称材料
题名
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
1
作者
张晔
解启林
朱启政
孙建强
机构
中国电子科技集团公司第
河北科技大厦后勤集团
出处
《新技术新工艺》
2008年第6期78-80,共3页
文摘
采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。通过试验确定了钛酸锶钡电光材料进行溅射镀厚膜时的工艺参数,并对膜层的表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。
关键词
钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
Keywords
barium-strontium titanate
magnetron sputter
thick Cu films
分类号
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
2
作者
张晔
解启林
朱启政
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《科技资讯》
2007年第22期16-17,共2页
文摘
本文采用磁控溅射的方法在钛酸锶钡材料上涂覆金属铜膜。文章详细论述了溅射金属铜膜的工艺参数,并就这些参数对所镀膜层表面质量、附着性能和膜均匀性的影响进行了分析,指出了获得优良的厚铜膜层的实现途径和方法。
关键词
钛酸锶钡
磁控溅射
厚铜膜
分类号
TQ07 [化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
张晔
解启林
朱启政
孙建强
《新技术新工艺》
2008
0
下载PDF
职称材料
2
在钛酸锶钡体材上溅射厚铜膜工艺
张晔
解启林
朱启政
《科技资讯》
2007
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部