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高温氧化协同原位掺硼提升金刚石薄膜的亲水性
被引量:
1
1
作者
于杨磊
李崧博
+4 位作者
安俊杰
包胜友
康惠元
康翱龙
魏秋平
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
2021年第2期174-181,共8页
用H_(2)、CH_(4)和B_(2)H_(6)气体作为气源,采用热丝化学气相沉积技术在单晶硅衬底上分别制备纯金刚石膜和含硼金刚石薄膜,然后在600~800℃高温氧化。通过扫描电镜、拉曼光谱及X射线衍射仪对金刚石膜层的形貌和成分进行表征,用常温接触...
用H_(2)、CH_(4)和B_(2)H_(6)气体作为气源,采用热丝化学气相沉积技术在单晶硅衬底上分别制备纯金刚石膜和含硼金刚石薄膜,然后在600~800℃高温氧化。通过扫描电镜、拉曼光谱及X射线衍射仪对金刚石膜层的形貌和成分进行表征,用常温接触角测试仪对其亲水性进行表征,研究高温氧化协同原位掺硼对金刚石薄膜亲水性的影响。结果表明,随高温氧化温度升高,膜层逐渐被刻蚀至出现微孔形貌,其中纯金刚石膜层在700℃下氧化后,接触角从68.1°降低至21.5°,膜层亲水性提高。随掺硼浓度提高,微孔逐渐消失,在V(H2):V(CH_(4)):V(B_(2)H_(6))=97:3:0.4条件下制备的掺硼金刚石膜,并在800℃氧化处理后,具有最小接触角14.1°。在原位掺硼和高温氧化的协同作用下,膜层成分发生改变,同时金刚石完美构型出现缺陷,微孔形貌使金刚石膜层的表面能增大,从而有效提高金刚石薄膜的亲水性。
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关键词
金刚石
热丝化学气相沉积
高温氧化
原位掺硼
亲水性
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职称材料
题名
高温氧化协同原位掺硼提升金刚石薄膜的亲水性
被引量:
1
1
作者
于杨磊
李崧博
安俊杰
包胜友
康惠元
康翱龙
魏秋平
机构
中南大学材料科学与工程学院
出处
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
2021年第2期174-181,共8页
基金
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0301402)
国家自然科学基金资助项目(52071345,51874370,51601226)
+1 种基金
广东省重点研发计划资助项目(2020B010185001)
湖南省自然科学基金资助项目(2019JJ40375,2019JJ50793)。
文摘
用H_(2)、CH_(4)和B_(2)H_(6)气体作为气源,采用热丝化学气相沉积技术在单晶硅衬底上分别制备纯金刚石膜和含硼金刚石薄膜,然后在600~800℃高温氧化。通过扫描电镜、拉曼光谱及X射线衍射仪对金刚石膜层的形貌和成分进行表征,用常温接触角测试仪对其亲水性进行表征,研究高温氧化协同原位掺硼对金刚石薄膜亲水性的影响。结果表明,随高温氧化温度升高,膜层逐渐被刻蚀至出现微孔形貌,其中纯金刚石膜层在700℃下氧化后,接触角从68.1°降低至21.5°,膜层亲水性提高。随掺硼浓度提高,微孔逐渐消失,在V(H2):V(CH_(4)):V(B_(2)H_(6))=97:3:0.4条件下制备的掺硼金刚石膜,并在800℃氧化处理后,具有最小接触角14.1°。在原位掺硼和高温氧化的协同作用下,膜层成分发生改变,同时金刚石完美构型出现缺陷,微孔形貌使金刚石膜层的表面能增大,从而有效提高金刚石薄膜的亲水性。
关键词
金刚石
热丝化学气相沉积
高温氧化
原位掺硼
亲水性
Keywords
diamond
hot filament chemical vapor deposition
high temperature oxidation
in-situ boron doping
hydrophilic
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高温氧化协同原位掺硼提升金刚石薄膜的亲水性
于杨磊
李崧博
安俊杰
包胜友
康惠元
康翱龙
魏秋平
《粉末冶金材料科学与工程》
EI
2021
1
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职称材料
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