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用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析 被引量：1
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作者 陈献忠 姚汉民 陈旭南 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期2645-2652,共8页
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出... 用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出几种改进试验的方法. 展开更多
关键词 完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作 原子光刻试验
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