Al_2O_3-SiO_2-TiO_2-ZrO_2复合膜及其微观结构

研究采用Sol-gel法研制了一种新型的Al2O3-SiO2-TiO2-ZrO2复合陶瓷膜。复合膜由γ-Al2O3,TiO2,ZrO2和Al2SiO5等多相组成,改变体系组成各相含量时膜的主晶相也随之变化,从而影响到膜的微观结构。利用原子力显微镜(AFM)分析法重点研究了膜的表面性质及其形貌,并探讨了修饰物添加剂对膜的形貌和性能的影响。