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原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势
被引量:
14
1
作者
房丰洲
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第9期1009-1021,共13页
探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的...
探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的建议和措施。
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关键词
原子及近原子尺度
原子及近原子尺度
制造
制造Ⅲ
制造技术发展趋势
下载PDF
职称材料
面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术
被引量:
7
2
作者
吉建伟
山村和也
邓辉
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期252-264,共13页
目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推...
目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键.本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上,重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术,分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果.分析结果表明,该技术具有较高的去除效率,能够获得原子级平坦表面,并且不会产生亚表面损伤.同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象,探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略.最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望.
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关键词
单晶SiC
原子及近原子尺度
制造
等离子体
表面改性
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职称材料
制造发展的三个范式:制造发展规律的研究
3
作者
房丰洲
赖敏
+11 位作者
王金石
吕鹏
于楠
罗熙淳
胡春光
陈远流
陈磊
邓辉
徐涛
康城玮
韩伟
冯俊元
《中国科学基金》
CSCD
北大核心
2024年第1期159-171,共13页
基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识,本文详细分析了制造发展的三个范式,论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状,指出我国目前处于原子级制造技术...
基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识,本文详细分析了制造发展的三个范式,论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状,指出我国目前处于原子级制造技术发展的重要战略机遇期,并从设计、材料、加工和检测等角度分析了原子级制造的技术体系内涵;梳理了原子级表面制造、原子级结构制造、原子级测量与表征等领域的研究进展,呈现了当前具有原子级制造能力的部分代表性技术,包括原子级切削、原子级抛光、电化学加工、等离子体原子级加工技术、原子精准操控以及原子分辨测量与表征技术,并对原子级制造战略规划提出发展建议。
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关键词
制造技术发展趋势
制造范式
原子及近原子尺度
制造
原子
精度制造
原子
级制造
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职称材料
面向原子级表面制造的等离子体诱导原子选择刻蚀技术
被引量:
2
4
作者
张翊
吴兵
+1 位作者
张临风
邓辉
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期882-892,共11页
制造正从以经验技能为基础的制造Ⅰ和以经典理论为基础的制造Ⅱ迈向以量子理论为基础的制造Ⅲ.尽管制造的这三个范式出现在不同历史阶段,但它们将并存,甚至在未来可遇见的时期内,制造Ⅱ还依然起主导作用.其中制造Ⅲ的核心领域将是原子...
制造正从以经验技能为基础的制造Ⅰ和以经典理论为基础的制造Ⅱ迈向以量子理论为基础的制造Ⅲ.尽管制造的这三个范式出现在不同历史阶段,但它们将并存,甚至在未来可遇见的时期内,制造Ⅱ还依然起主导作用.其中制造Ⅲ的核心领域将是原子及近原子尺度制造(ACSM),涵盖制造的精度、结构尺寸及材料去除、迁移、增加的尺度.原子级的表面制造是ACSM发展的一个重要领域.本文将介绍一种基于等离子体诱导原子选择刻蚀原理(plasma-induced atom-selective etching,PASE)的原子级表面制造技术.晶体表面不同成键状态的原子在等离子体刻蚀反应中具有不同的反应优先等级,而这种反应优先级的调控可通过改变等离子体活性粒子成分、浓度、温度等来实现.因而,PASE技术可以选择性去除材料表面的多余原子,并最终实现原子级表面的创成.PASE技术已成功应用于Si,SiC,Al_(2)O_(3)等硬脆单晶材料的抛光,采用CF_(4)-O_(2)等离子体,可直接实现上述材料研磨表面(S_(a)>100 nm)的抛光,并高效率获得埃米级表面(S_(a)<0.5 nm),实现了原子级表面的制造.
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关键词
原子及近原子尺度
制造
原子
选择刻蚀
超精密加工
等离子体
原文传递
题名
原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势
被引量:
14
1
作者
房丰洲
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第9期1009-1021,共13页
基金
国家重点研发计划资助项目(2016YFB1102203)
国家自然科学基金资助项目(61635008)。
文摘
探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的建议和措施。
关键词
原子及近原子尺度
原子及近原子尺度
制造
制造Ⅲ
制造技术发展趋势
Keywords
atomic and close-to-atomic scale
atomic and close-to-atomic scale manufacturing(ACSM)
manufacturingⅢ
development trend of manufacturing technology
分类号
TH3 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术
被引量:
7
2
作者
吉建伟
山村和也
邓辉
机构
南方科技大学前沿与交叉科学研究院
南方科技大学机械与能源工程系
日本大阪大学工学院精密科学与技术系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期252-264,共13页
基金
国家自然科学基金(批准号:52035009,52005243)
深圳市科技创新委员会国际合作项目(批准号:GJHZ20180928155412525)资助的课题.
文摘
目前Si基半导体由于其自身材料特性的限制,已经越来越难以满足高速发展的现代电力电子技术对半导体器件的性能要求.SiC作为新一代半导体材料具有显著的性能优势,但由于其属于典型的难加工材料,实现SiC晶圆的高质量与高效率加工成为了推动其产业化应用进程的关键.本综述在回顾近年来SiC超精密加工技术研究进展的基础上,重点介绍了一种基于等离子体氧化改性的SiC高效超精密抛光技术,分析了该技术的材料去除机理、典型装置、改性过程及抛光效果.分析结果表明,该技术具有较高的去除效率,能够获得原子级平坦表面,并且不会产生亚表面损伤.同时针对表面改性辅助抛光技术加工SiC表面过程中出现的台阶现象,探讨了该台阶结构的产生机理及调控策略.最后对等离子体辅助抛光技术的发展与挑战进行了展望.
关键词
单晶SiC
原子及近原子尺度
制造
等离子体
表面改性
Keywords
single crystal SiC
atomic and close-to-atomic scale manufacturing
plasma
surface modification
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
O539 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
制造发展的三个范式:制造发展规律的研究
3
作者
房丰洲
赖敏
王金石
吕鹏
于楠
罗熙淳
胡春光
陈远流
陈磊
邓辉
徐涛
康城玮
韩伟
冯俊元
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
都柏林大学机械与材料工程学院
爱丁堡大学机械工程学院
思克莱德大学精密制造中心
浙江大学机械工程学院
西南交通大学机械工程学院
南方科技大学机械与能源工程系
东南大学集成电路学院
西安交通大学机械工程学院
复旦大学信息科学与工程学院
杭州电子科技大学机械工程学院
出处
《中国科学基金》
CSCD
北大核心
2024年第1期159-171,共13页
基金
国家自然科学基金项目(52035009)的资助。
文摘
基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识,本文详细分析了制造发展的三个范式,论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状,指出我国目前处于原子级制造技术发展的重要战略机遇期,并从设计、材料、加工和检测等角度分析了原子级制造的技术体系内涵;梳理了原子级表面制造、原子级结构制造、原子级测量与表征等领域的研究进展,呈现了当前具有原子级制造能力的部分代表性技术,包括原子级切削、原子级抛光、电化学加工、等离子体原子级加工技术、原子精准操控以及原子分辨测量与表征技术,并对原子级制造战略规划提出发展建议。
关键词
制造技术发展趋势
制造范式
原子及近原子尺度
制造
原子
精度制造
原子
级制造
Keywords
development trend of manufacturing technology
manufacturing paradigm
atomic and close-toatomic scale manufacturing
atomic precision manufacturing
atomic-level manufacturing
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
F424 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
面向原子级表面制造的等离子体诱导原子选择刻蚀技术
被引量:
2
4
作者
张翊
吴兵
张临风
邓辉
机构
南方科技大学工学院机械与能源工程系
出处
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期882-892,共11页
基金
国家自然科学基金重点项目(批准号:52035009)
国家自然科学基金青年科学基金项目(批准号:52005243)资助。
文摘
制造正从以经验技能为基础的制造Ⅰ和以经典理论为基础的制造Ⅱ迈向以量子理论为基础的制造Ⅲ.尽管制造的这三个范式出现在不同历史阶段,但它们将并存,甚至在未来可遇见的时期内,制造Ⅱ还依然起主导作用.其中制造Ⅲ的核心领域将是原子及近原子尺度制造(ACSM),涵盖制造的精度、结构尺寸及材料去除、迁移、增加的尺度.原子级的表面制造是ACSM发展的一个重要领域.本文将介绍一种基于等离子体诱导原子选择刻蚀原理(plasma-induced atom-selective etching,PASE)的原子级表面制造技术.晶体表面不同成键状态的原子在等离子体刻蚀反应中具有不同的反应优先等级,而这种反应优先级的调控可通过改变等离子体活性粒子成分、浓度、温度等来实现.因而,PASE技术可以选择性去除材料表面的多余原子,并最终实现原子级表面的创成.PASE技术已成功应用于Si,SiC,Al_(2)O_(3)等硬脆单晶材料的抛光,采用CF_(4)-O_(2)等离子体,可直接实现上述材料研磨表面(S_(a)>100 nm)的抛光,并高效率获得埃米级表面(S_(a)<0.5 nm),实现了原子级表面的制造.
关键词
原子及近原子尺度
制造
原子
选择刻蚀
超精密加工
等离子体
Keywords
atomic and close-to-atomic scale manufacturing
atom-selective etching
ultra-precision processing
plasma
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
O562 [理学—原子与分子物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
原子及近原子尺度制造——制造技术发展趋势
房丰洲
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
14
下载PDF
职称材料
2
面向单晶SiC原子级表面制造的等离子体辅助抛光技术
吉建伟
山村和也
邓辉
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
7
下载PDF
职称材料
3
制造发展的三个范式:制造发展规律的研究
房丰洲
赖敏
王金石
吕鹏
于楠
罗熙淳
胡春光
陈远流
陈磊
邓辉
徐涛
康城玮
韩伟
冯俊元
《中国科学基金》
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
4
面向原子级表面制造的等离子体诱导原子选择刻蚀技术
张翊
吴兵
张临风
邓辉
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2022
2
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