一种改进的CVD金刚石膜生长过程原子尺度三维仿真方法

蒙特卡洛动力学(Kinetic Monte Carlo-KMC)仿真方法通过结合金刚石膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚石薄膜原子尺度生长过程。本文在介绍KMC方法的同时,分析了所存在问题,并对原有KMC方法加以改进,使之更准确地反映CVD金刚石薄膜原子尺度的生长规律。