期刊文献+
共找到15篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于原子沉积法的纳米Al2O3涂层微织构刀具刀-屑界面间摩擦系数研究 被引量:2
1
作者 李佩真 唐思文 +6 位作者 孙林 刘骞 李鹏南 牛秋林 王金林 王睿 刘鹏飛 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2020年第10期26-32,共7页
采用原子沉积法(Atomic Layer Deposition,ALD)分别在点状微织构和条状微织构YT5硬质合金刀具(微织构刀具)上制备了纳米Al 2O 3涂层,通过直角切削实验研究了纳米Al 2O 3涂层对微织构刀具刀-屑界面间摩擦系数的影响,并将纳米Al 2O 3涂层... 采用原子沉积法(Atomic Layer Deposition,ALD)分别在点状微织构和条状微织构YT5硬质合金刀具(微织构刀具)上制备了纳米Al 2O 3涂层,通过直角切削实验研究了纳米Al 2O 3涂层对微织构刀具刀-屑界面间摩擦系数的影响,并将纳米Al 2O 3涂层微织构刀具与微织构刀具、YT5硬质合金刀具进行对比。结果表明,微织构能降低刀具刀-屑界面间的摩擦系数;纳米Al 2O 3涂层能进一步降低微织构刀具刀-屑界面间的摩擦系数,其中厚度为100 nm的Al 2O 3涂层微织构刀具刀-屑界面间的摩擦系数最小,当点状微织构间距为0.15 mm时摩擦系数值最优,当条状微织构方向垂直于主切削刃时摩擦系数值最优;刀具刀-屑界面间的摩擦系数随着切削速度的增加而增大。纳米Al 2O 3涂层与微织构相结合将刀-屑界面间的摩擦由滑动摩擦转变为滑动-滚动复合摩擦的形式,降低了微织构刀具刀-屑界面间的摩擦系数,改善了摩擦性能,有利于提高刀具耐用度。 展开更多
关键词 纳米Al 2O 3涂层 切削刀具 原子沉积法 微织构 摩擦系数
下载PDF
十八烷基键合硅胶的原子层沉积法封尾及其在碱性化合物分离中的应用 被引量:1
2
作者 郭志强 陈磊 万谦宏 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1572-1576,共5页
采用原子层沉积法对十八烷基键合硅胶进行端基封尾。以六甲基二硅氮烷为封端试剂,在250℃下与键合硅胶样品反应6h,制备了对碱性化合物具有高惰性的反相色谱填料。分别以吡啶/苯酚和萘/阿米替林为分子探针,考察了经原子层沉积法和传统液... 采用原子层沉积法对十八烷基键合硅胶进行端基封尾。以六甲基二硅氮烷为封端试剂,在250℃下与键合硅胶样品反应6h,制备了对碱性化合物具有高惰性的反相色谱填料。分别以吡啶/苯酚和萘/阿米替林为分子探针,考察了经原子层沉积法和传统液相有机溶剂法封尾处理的十八烷基键合硅胶的色谱性能,并与商品十八烷基硅胶Zorbax SB-C18和Kromasil C18进行对比。结果表明,原子层沉积法封尾的十八烷基硅胶对碱性化合物的分离特性明显优于传统液相法,其色谱性能已超过Zorbax SB-C18,与Kromasil C18相当。本方法无需有机溶剂,操作简便,反应耗时短,易于放大生产,封尾反应完全,应用前景良好。 展开更多
关键词 反相液相色谱 十八烷基键合硅胶 端基封尾 原子沉积 碱性化合物
下载PDF
原子层沉积法制备氧化锌纳米管 被引量:1
3
作者 廖荣 刘慧君 +3 位作者 柯嘉聪 李涌春 廖鸿韬 罗志勇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期12-15,共4页
采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2μm,壁厚150n... 采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2μm,壁厚150nm。还可选用其它孔径的聚碳酸酯薄膜以及不同的原子层沉积循环数,控制管壁的厚度,以得到不同直径的ZnO纳米管。该方法工艺简单,操作简便,无任何中间产物,可实现工业化生产。 展开更多
关键词 氧化锌 纳米管 原子沉积 聚碳酸酯薄膜 生长机理
下载PDF
原子层沉积氧化铝包覆层增强五氧化二钒多孔薄膜电化学循环稳定性 被引量:1
4
作者 曾燚 吴广明 +1 位作者 高国华 杨辉宇 《真空》 CAS 2015年第2期22-24,共3页
最近,包覆氧化物进行表面修饰的方法已成功应用于改善锂离子电池阴极材料的容量稳定性。本文中,我们通过V2O5溶胶结合提拉法制备了V2O5多孔薄膜,并利用原子层沉积法对其包覆Al2O3原子层。V2O5多孔薄膜的电化学性质受包覆层厚度的影响,... 最近,包覆氧化物进行表面修饰的方法已成功应用于改善锂离子电池阴极材料的容量稳定性。本文中,我们通过V2O5溶胶结合提拉法制备了V2O5多孔薄膜,并利用原子层沉积法对其包覆Al2O3原子层。V2O5多孔薄膜的电化学性质受包覆层厚度的影响,我们研究了不同薄膜厚度下的修饰效果。结果显示,原子层沉积法包覆不同厚度Al2O3原子层对锂离子电池的循环稳定性都有所改善,经10个ALD包覆循环的样品表现出最好的修饰效果。在此基础上,我们讨论探索了包覆Al2O3对容量及稳定性增强的机理。 展开更多
关键词 五氧化二钒薄膜 原子沉积 表面修饰 循环稳定性
下载PDF
纳米硫化锰在储能装置中的应用 被引量:3
5
作者 王相文 徐立强 《当代化工》 CAS 2017年第8期1629-1632,共4页
论述了硫化锰电子结构、晶型、形貌、制备方法。通过控制反应温度、浓度、硫源、锰源等参数控制MnS的晶型、形貌等影响储能装置性能的特征。通过各种MnS及其复合物首圈充放电性能、循环圈数、充放电稳定性、比电容、能量密度和功率密度... 论述了硫化锰电子结构、晶型、形貌、制备方法。通过控制反应温度、浓度、硫源、锰源等参数控制MnS的晶型、形貌等影响储能装置性能的特征。通过各种MnS及其复合物首圈充放电性能、循环圈数、充放电稳定性、比电容、能量密度和功率密度的对比,初步得到现阶段性能优良的用于储能装置中的MnS及其MnS复合材料。 展开更多
关键词 氧化还原石墨烯(RGO) 原子沉积 固相电解质界面膜 水热
下载PDF
锂电池中高比表面积的导电剂分散和ALD包覆性能优化 被引量:2
6
作者 李磊削 刘彦峰 +1 位作者 王韫宇 李昌烽 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期519-526,共8页
本研究以高比表面积的导电添加剂为基体材料,通过原子层沉积(ALD)法生长氧化铝纳米薄膜,制备改性高比表面积的导电添加剂。采用扫描电镜及透射电镜对包覆改性前后导电剂的形貌进行表征,发现采用ALD方法可以在高比表面积的导电添加剂表... 本研究以高比表面积的导电添加剂为基体材料,通过原子层沉积(ALD)法生长氧化铝纳米薄膜,制备改性高比表面积的导电添加剂。采用扫描电镜及透射电镜对包覆改性前后导电剂的形貌进行表征,发现采用ALD方法可以在高比表面积的导电添加剂表面生长纳米氧化铝。利用扣电方法测试改性导电剂对锂离子电池性能的影响。在高电压下,改性高比表面积的导电剂制备的锂离子电池在倍率循环性能、库伦效率、充放电性能等方面都有很大程度的提高。ALD氧化铝薄膜的厚度会影响锂离子电池性能。高比表面积的导电剂则需要更长时间的ALD生长氧化铝,达到提高锂离子电池倍率(0~8C)循环性能的结果。 展开更多
关键词 锂离子电池 导电添加剂 原子沉积 高比表面积的材料 电池倍率性能
下载PDF
与CMOS后端工艺高度兼容的Hf0.5Zr0.5O2铁电电容的制备和性能研究
7
作者 刘晨 肖文武 +2 位作者 郑帅至 廖敏 周益春 《湘潭大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第3期74-81,共8页
最近,在氧化铪薄膜材料中掺杂适量元素发现了铁电性,因为氧化铪薄膜材料与传统的钙钛矿结构铁电材料相比具有可微缩性化、较大的矫顽电场、与CMOS后端工艺高度兼容等优势,从而引起了广泛的关注.该文对应用于铁电场效应晶体管(FeFET)的... 最近,在氧化铪薄膜材料中掺杂适量元素发现了铁电性,因为氧化铪薄膜材料与传统的钙钛矿结构铁电材料相比具有可微缩性化、较大的矫顽电场、与CMOS后端工艺高度兼容等优势,从而引起了广泛的关注.该文对应用于铁电场效应晶体管(FeFET)的存储介质Hf0.5Zr0.5O2(HZO)基铁电薄膜的制备进行了研究.采用原子层沉积法(ALD)制备HZO基铁电薄膜,研究了不同厚度(9nm、19nm、29nm)、不同顶电极(TaN、Pt),以及不同退火温度(450~750℃)对HZO铁电薄膜的铁电性能的影响.结果表明,选用TaN作为上电极,退火温度为550℃时,19nm厚氧化铪铁电薄膜表现出更加优异的铁电性能.同时,表征了HZO铁电薄膜的保持和疲劳性能,以及HZO铁电薄膜在高低温环境下的稳定性. 展开更多
关键词 氧化铪薄膜 保持 疲劳 原子沉积
下载PDF
一次性塑料转变为液态烃
8
作者 李保荣(摘译) 《石油石化绿色低碳》 2020年第1期25-25,共1页
据报道,美国西北大学Argonne国家实验室研究员采用原子层沉积法,将铂纳米颗粒分散到钛酸锶(SrTiO3)立方体上,制成了聚乙烯加氢裂解催化剂,控制铂纳米粒子的大小和分布,以最大程度地减少聚乙烯分解成甲烷和乙烷等轻质低价值烃类,而生成... 据报道,美国西北大学Argonne国家实验室研究员采用原子层沉积法,将铂纳米颗粒分散到钛酸锶(SrTiO3)立方体上,制成了聚乙烯加氢裂解催化剂,控制铂纳米粒子的大小和分布,以最大程度地减少聚乙烯分解成甲烷和乙烷等轻质低价值烃类,而生成一系列高质量的液态烃。该催化剂的性能优于商业加氢裂解催化剂,可将更多的初始聚乙烯转化为所需的化合物。业内称,该技术可以选择性更高地将聚乙烯转换为特定分子量范围的产物,这是现有技术无法实现的。这种催化剂有一定的发展前景,但需对混合的塑料和杂质(如污垢、染料或食物残渣)进行额外测试。 展开更多
关键词 液态烃 食物残渣 铂纳米粒子 加氢裂解 美国西北大学 一次性塑料 铂纳米颗粒 原子沉积
下载PDF
SiO2薄膜在电荷陷阱型V-NAND中的应用及制备方法
9
作者 周影影 张刘超 《功能材料与器件学报》 CAS 2019年第4期240-246,共7页
电荷陷阱型V-NAND技术具有较低的单位存储成本,优异的写入与读取速度,高可靠性等优点被越来越广泛地使用。SiO2在V-NAND中被广泛用作隔离氧化层,隧穿氧化层,介电层以及离子注入掩模等。本文阐述了电荷陷阱型V-NAND基本存储单元的物理和... 电荷陷阱型V-NAND技术具有较低的单位存储成本,优异的写入与读取速度,高可靠性等优点被越来越广泛地使用。SiO2在V-NAND中被广泛用作隔离氧化层,隧穿氧化层,介电层以及离子注入掩模等。本文阐述了电荷陷阱型V-NAND基本存储单元的物理和能带结构,并对写入与擦除过程电子隧穿过程进行分析;对位成本缩减技术(BICS)和阵列存储单元兆级晶体管技术(TCAT)的存储区域的物理结构进行对比,对其存储单元的立体结构进行分析。重点介绍热氧化法,化学气相沉积法和原子层沉积法制备SiO2薄膜的原理的性质,并对三种方法制备SiO2薄膜的物理和电性特征进行分析。 展开更多
关键词 电荷陷阱型V-NAND SIO2薄膜 热氧化 化学气相沉积 原子沉积
原文传递
基于ZnO-CuO纳米线结构的新型光电器件 被引量:2
10
作者 袁晓贤 苏霜萍 +2 位作者 单新治 苗玉 隋国荣 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期127-131,共5页
为了获得高效的整流器件和微型短波长的发光器件,采用原子层沉积(ALD)法和水浴法合成了具有ZnO-CuO的结构器件。对制备的样品进行了光学和电学特性的检测,获得了22.79的整流比和17.69的理想因子,且门限电压和整流比等特性随CuO厚度增加... 为了获得高效的整流器件和微型短波长的发光器件,采用原子层沉积(ALD)法和水浴法合成了具有ZnO-CuO的结构器件。对制备的样品进行了光学和电学特性的检测,获得了22.79的整流比和17.69的理想因子,且门限电压和整流比等特性随CuO厚度增加而减小。在光致发光(PL)特性上,具有显著的由ZnO带电激发的385nm紫外光波峰,同时伴有由深能级散射激发的572nm的可见光波峰,且随着CuO厚度的增加紫外光波峰减小,可见光峰变大。实验结果表明,本文制备的器件可以应用在纳米型二极管、光电探测器以及微型光源等领域。 展开更多
关键词 原子沉积法 水浴 ZnO—CuO纳米线 整流特性 光致发光
原文传递
低维黑磷的合成及其抗氧化研究
11
作者 王琴 余夏辉 +4 位作者 符明富 邓书康 冯小波 杨雯 杨培志 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期150-158,共9页
二维黑磷(2D-BP)和黑磷量子点(BP-QDs)等低维黑磷材料在结构和光电性能方面表现出巨大的潜在应用价值,但其仍面临着合成不可控和抗氧化性差等问题。通过引入微波法实现了低维黑磷的简便、低成本合成;研究了微波退火温度和退火时间对低... 二维黑磷(2D-BP)和黑磷量子点(BP-QDs)等低维黑磷材料在结构和光电性能方面表现出巨大的潜在应用价值,但其仍面临着合成不可控和抗氧化性差等问题。通过引入微波法实现了低维黑磷的简便、低成本合成;研究了微波退火温度和退火时间对低维黑磷结构、形貌和光致发光性能的影响;通过原子层沉积法在BP-QDs样品表面沉积氧化铝(Al_(2)O_(3))保护层,研究了Al_(2)O_(3)薄膜厚度对BP-QDs抗氧化性的影响。结果表明:随着微波退火温度的增加,量子点尺寸逐渐减小,光致发光发射峰出现蓝移,这说明反应温度会影响材料的尺寸,进而影响其带隙和光致发光特性;当微波退火时间持续增加时,黑磷纳米片被逐渐剥离并形成BP-QDs;当微波退火温度和时间分别为250℃和4 h时,BP-QDs分布均匀且尺寸更小;随着Al_(2)O_(3)膜厚的增加,保护性能越来越好;当Al_(2)O_(3)薄膜厚度为20 nm时,BP-QDs在空气中的抗氧化性最佳。 展开更多
关键词 材料 二维黑磷 黑磷量子点 微波 原子沉积 抗氧化
原文传递
A direct atomic layer deposition method for growth of ultra-thin lubricant tungsten disulfide films 被引量:2
12
作者 SUN YongFeng CHAI ZhiMin +1 位作者 LU XinChun HE DanNong 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期51-57,共7页
We describe a direct atomic layer deposition method to grow lubricant tungsten disulfide (WS2) films. The WS2 films were deposited on a Si (100) substrate and a zinc sulfide (ZnS) film coated the Si (100) subs... We describe a direct atomic layer deposition method to grow lubricant tungsten disulfide (WS2) films. The WS2 films were deposited on a Si (100) substrate and a zinc sulfide (ZnS) film coated the Si (100) substrate using tungsten hexacarbonyl and hydrogen sulfide as precursors. The ZnS film served as an intermediate layer to facilitate the nucleation and growth of the WS2 films. The thickness of the WS2 films was measured via scanning electron microscope, the microstructure was probed with an X-ray diffractometer and a transmission electron microscope. The friction coefficient was measured with a ball-on-disk tester under dry nitrogen. The results reveal that the WS2 films deposited on both substrates are N175 nm and have (002) and (101) crystal orientations. The WS2 film deposited on the ZnS coated Si substrate exhibits a stronger (002) orientation and a denser crystal structure than that deposited on the Si substrate. The WS2 films on both substrates have low friction coefficients. How- ever, due to the stronger (002) orientation and denser crystal structure, the friction coefficient of the WS2 film deposited on ZnS coated Si substrate is smaller with longer wear life. 展开更多
关键词 atomic layer deposition tungsten disulfide crystal orientation FRICTION
原文传递
Influence of crystal structure on friction coefficient of ZnO films prepared by atomic layer deposition 被引量:1
13
作者 CHAI ZhiMin LIU YuHong +1 位作者 LU XinChun HE DanNong 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第3期506-512,共7页
In this work, the influence of crystal structure on the friction coefficient of zinc oxide (ZnO) films was studied. The ZnO films were deposited on a Si (100) substrate using an atomic layer deposition process, an... In this work, the influence of crystal structure on the friction coefficient of zinc oxide (ZnO) films was studied. The ZnO films were deposited on a Si (100) substrate using an atomic layer deposition process, and the crystal structure of the ZnO films was changed by adjusting the substrate temperature. The surface morphology and the crystal structure of the ZnO films were meas- ured by an atomic force microscope and an X-ray diffractometer, respectively, and the friction coefficient of the ZnO fi)ms was measured by a ball-on-disk dry sliding tester. The results show that the ZnO films deposited at substrate temperatures below 200~C are dominated by (100), (002) and (101)-orientated crystals, while the ZnO films deposited at substrate temperatures above 250~C are dominated by (002)-orientated crystals, and that the crystal structure influences the friction coefficient of ZnO films greatly. The ZnO films with (002)-orientated crystals possess a larger friction coefficient than those with other orientated crystals. In order to verify this conclusion, we measured the friction behavior of the ZnO single crystals with different orienta- tions. The results are consistent well with our conclusion. 展开更多
关键词 ZNO atomic layer deposition crystal structure FRICTION
原文传递
Accurate characterization of room-temperature long range magnetic order in GaN: Mn by magnetic force microscope 被引量:1
14
作者 ZHANG YuHao LIN ZhiYuan +8 位作者 CHEN ZhiTao QIAN YuZhou YANG XueLin LI Ding ZHANG FaFa DAI Tao HAN BaoShan WANG CunDa ZHANG GuoYi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2011年第1期15-18,共4页
Room-temperature ferromagnetism with a Curie temperature higher than 380 K was studied in GaN: Mn thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition. By etching artificial microstructures on the GaN: Mn layer... Room-temperature ferromagnetism with a Curie temperature higher than 380 K was studied in GaN: Mn thin films grown by metal-organic chemical vapor deposition. By etching artificial microstructures on the GaN: Mn layer,strong magnetic responses were observed in the magnetic force microscopy (MFM) measurement,which revealed that the films were independent of dopant particles and clusters. Numerical simulation on the data of atomic force microscope (AFM) and MFM measurements covering the whole microstructure validated the formation of long range magnetic order. This result excluded a variety of controversial origins of room-temperature ferromagnetism in the GaN: Mn and gave a strong evidence of our GaN: Mn as the intrinsic diluted magnetic semiconductor (DMS). The forwarded method for accurate characterization of long range magnetic order could be applied to a wide range of DMS and diluted magnetic oxide (DMO) systems. 展开更多
关键词 GaN: Mn diluted magnetic semiconductor atomic force microscope magnetic force microscope room-temperature longrange magnetic order
原文传递
Growth of 2D MoP single crystals on liquid metals by chemical vapor deposition
15
作者 Feifei Cao Shuting Zheng +7 位作者 Jingjing Liang Zhi Li Bin Wei Yiran Ding Zhongchang Wang Mengqi Zeng Nan Xu Lei Fu 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第5期1182-1188,共7页
Two-dimensional(2 D) transition metal phosphides(TMPs) are predicted with many novel properties and various applications. As a member of TMPs family, molybdenum phosphide(MoP) exhibits many exotic physicochemical prop... Two-dimensional(2 D) transition metal phosphides(TMPs) are predicted with many novel properties and various applications. As a member of TMPs family, molybdenum phosphide(MoP) exhibits many exotic physicochemical properties. However, the synthesis of high-quality2 D MoP single crystals is not reported due to the lack of reliable fabrication method, which limits the exploration of 2 D MoP. Here, we report the growth of high-quality ultrathin MoP single crystals with thickness down to 10 nm on liquid metals via chemical vapor deposition(CVD). The smooth surface of liquid Ga is regarded as a suitable growth substrate for producing 2 D MoP single crystals. The Mo source diffuses toward the Ga surface due to the high surface energy to react with phosphorus source, thus to fabricate ultrathin MoP single crystals. Then, we study the second harmonic generation(SHG) of 2 D MoP for the first time due to its intrinsic noncentrosymmetric structure. Our study provides an new approach to synthesize and explore other 2 D TMPs for future applications. 展开更多
关键词 2D materials transition metal phosphides molybdenum phosphides liquid metals chemical vapor deposition
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部