期刊文献+

二次检索

题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

年份

学科

机构

共找到22篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
航天器原子氧通量仿真软件AOFS的验证计算
1
作者 焦子龙 姜海富 +4 位作者 姜利祥 刘宇明 徐焱林 李涛 乔世英 《航天器环境工程》 CSCD 2024年第5期553-560,共8页
仿真计算是获得航天器表面原子氧(AO)撞击通量分布情况的重要手段之一。文章首先介绍自主研发的适用于复杂构型航天器AO通量仿真计算的AOFS软件的基本特性;然后利用无遮挡、有遮挡以及多次反射等AO与航天器相互作用的典型测试算例对该... 仿真计算是获得航天器表面原子氧(AO)撞击通量分布情况的重要手段之一。文章首先介绍自主研发的适用于复杂构型航天器AO通量仿真计算的AOFS软件的基本特性;然后利用无遮挡、有遮挡以及多次反射等AO与航天器相互作用的典型测试算例对该软件性能进行验证,并与自由分子流理论解和SYSTEMA软件的计算结果进行对比分析。研究发现:对于无遮挡和有遮挡算例,采用反向射线追踪方法的SYSTEMA软件比AOFS软件具有更好的算法稳定性;而对于多次反射算例,AOFS软件结果和SYSTEMA软件结果差别较大。以上结果可为后续复杂构型航天器AO通量计算软件的研制及验证提供参考依据。 展开更多
关键词 航天器 原子通量 软件研制 仿真分析 计算验证
下载PDF
原子光刻中原子通量的优化研究 被引量:1
2
作者 陈杰 刘杰 +3 位作者 朱立 邓晓 程鑫彬 李同保 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期20-24,共5页
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到10... 原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到100nm,使光栅质量得到进一步优化。 展开更多
关键词 原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量
原文传递
卫星表面原子氧通量和遭遇量的计算及讨论 被引量:2
3
作者 范权福 田剑华 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期167-172,共6页
建立了一个较为理想情况下卫星表面原子氧通量和遭遇量的计算模式.在此基础上,着重讨论了轨道高度、太阳活动、飞行攻角及轨道倾角等因素对原子氧通量和遭遇量的影响.
关键词 原子通量 遭遇量 轨道倾角 人造卫星 太阳
下载PDF
中间层顶重力波耗散引起钠原子输送的激光雷达观测研究 被引量:4
4
作者 巴金 胡雄 +2 位作者 闫召爱 郭商勇 程永强 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期499-506,共8页
利用中国科学院国家空间科学中心廊坊站(40.0°N,116.3°E)钠荧光多普勒激光雷达2011年至2013年共约82 h的钠原子数密度和垂直风观测数据,分析了廊坊地区中间层顶区域大气重力波耗散引起的钠原子输送特征.分析得到,90~100km处... 利用中国科学院国家空间科学中心廊坊站(40.0°N,116.3°E)钠荧光多普勒激光雷达2011年至2013年共约82 h的钠原子数密度和垂直风观测数据,分析了廊坊地区中间层顶区域大气重力波耗散引起的钠原子输送特征.分析得到,90~100km处重力波耗散引起的平均钠原子垂直通量整体为负,钠原子向下输送,在93 km处达到最大负值-1.47×10~8m^(-3)m·s^(-1),85~90km处平均钠原子垂直通量为正,钠原子向上输送,但通量值随高度递减.钠原子垂直通量方向在90km处发生转变,垂直通量随高度的变化造成钠原子汇聚,汇聚效应引起的平均钠原子产生率最大值在91km处达到了1.40×10~8m^(-3)/h,该值超过了相同高度上模式计算流星烧蚀注入引起的钠原子产生率峰值,说明重力波耗散对钠层结构的形成具有重要影响.与美国SOR和Maui观测结果相比,平均钠原子产生率峰值大小相近,但出现高度不同,说明大气重力波耗散引起的物质输送具有显著的地域变化特征.研究结果可为大气物质输送理论的完善以及大气金属层物理模式的改进提供观测事实参考. 展开更多
关键词 钠荧光多普勒激光雷达 大气重力波耗散 钠层结构 原子垂直通量 原子产生率
下载PDF
小型化锶原子束系统的研制
5
作者 付理想 谢玉林 +2 位作者 韩建新 常宏 张首刚 《时间频率学报》 CSCD 2015年第4期201-208,共8页
通过实验完成了对锶原子束锁频系统的小型化研制,系统的长度由85 cm小型化至45 cm,真空腔窗口的直径由35 mm减至16 mm,真空管法兰接口的规格CF35换成了CF16。采用激光诱导荧光的方法测量小型化系统热原子束的原子通量。通过对探测器响... 通过实验完成了对锶原子束锁频系统的小型化研制,系统的长度由85 cm小型化至45 cm,真空腔窗口的直径由35 mm减至16 mm,真空管法兰接口的规格CF35换成了CF16。采用激光诱导荧光的方法测量小型化系统热原子束的原子通量。通过对探测器响应效率的测量,将对荧光功率的测量转化成探测器响应电压的测量。由于原子通量与荧光功率成正比例关系,因此进而得到热原子束的原子通量。实验测得该小型化系统的原子通量满足锶原子光晶格钟实验需求。 展开更多
关键词 锁频系统 原子通量 响应效率 小型化
下载PDF
原子氧对航天器表面的剥蚀效应及其预报研究 被引量:2
6
作者 范权福 田剑华 《航天器环境工程》 1998年第4期21-26,10,共7页
文章论述了一个航天器表面原子氧通量和遭遇量预报模式的建立,并对影响航天器表面原子氧遭遇量的主要因素进行了讨论。最后用模式计算了2003~2006年间太阳同步轨道卫星表面原子氧遭遇量的情况。
关键词 原子通量和遭遇量 轨道倾角 飞行攻角 太阳活动
下载PDF
采用界面失配阵列技术在GaAs衬底上生长GaSb 被引量:1
7
作者 尤明慧 祝煊宇 +2 位作者 李雪 李士军 刘国军 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期725-731,共7页
采用界面失配阵列(Interfacial Misfit arrays,IMF)技术深入研究了在GaAs衬底上外延生长GaSb,研究了生长温度、Sb:Ga等效原子通量比、AlSb过渡层厚度和GaSb外延层厚度对材料结构质量的影响。其中,生长温度、AlSb过渡层厚度是影响GaSb材... 采用界面失配阵列(Interfacial Misfit arrays,IMF)技术深入研究了在GaAs衬底上外延生长GaSb,研究了生长温度、Sb:Ga等效原子通量比、AlSb过渡层厚度和GaSb外延层厚度对材料结构质量的影响。其中,生长温度、AlSb过渡层厚度是影响GaSb材料结构质量的重要因素,通过高分辨率X射线衍射(HRXRD)研究,HRXRD测量材料的衍射峰半高全宽(FWHM)值对这两个参数的变化非常敏感,而Sb:Ga等效原子通量比(Effective atomic flux ratio),在富Sb条件下,材料结构质量受其变化影响有限,GaSb衍射峰FWHM值随其变化轻微,但是GaSb材料层结构质量随其厚度增加而提高。优化的条件为GaSb材料生长温度约为515℃,AlSb过渡层厚度为5 nm。制备10 nm厚的GaSb外延层,经HRXRD测试,其衍射峰FWHM值仅为约15 arcsec,与商用GaSb衬底的衍射峰FWHM值相当。生长于其上的量子霍尔器件,在1.8 K及无电场偏压测量条件下,电子迁移率高达1.5×10^(5)cm^(2)/Vs,达到了GaSb衬底上器件性能水平。 展开更多
关键词 分子束外延 界面失配阵列 等效原子通量 过渡层
下载PDF
基于自动建模的射频功率放大器的互连可靠性研究
8
作者 林倩 刘洋 陈超 《电子技术应用》 北大核心 2016年第4期39-42,48,共5页
通过编程实现电路的自动建模及仿真,得到互连线的几何尺寸、电流密度及环境温度与AFD的关系,进而分析互连线的可靠性。从结果可知,温度升高、电流增大、尺寸减小等因素都会降低功率放大器互连线的可靠性。实际中,为了保证功率放大器的... 通过编程实现电路的自动建模及仿真,得到互连线的几何尺寸、电流密度及环境温度与AFD的关系,进而分析互连线的可靠性。从结果可知,温度升高、电流增大、尺寸减小等因素都会降低功率放大器互连线的可靠性。实际中,为了保证功率放大器的可靠性设计,在选择合适尺寸的晶体管和工作状态时,还需综合权衡输出功率、增益、效率等各方面指标。 展开更多
关键词 射频功率放大器 电迁移 自动建模 原子通量散度 有限元分析
下载PDF
扩散连接接头金属间化合物新相的形成机理 被引量:35
9
作者 何鹏 冯吉才 +1 位作者 钱乙余 张九海 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期53-55,共3页
扩散连接接头中界面区脆性金属间化合物相的出现往往会造成接头性能的恶化 ,因此研究并建立接头界面区金属间化合物相的生成和成长行为的数学模型对扩散连接过程控制有非常重要的理论及现实意义。本文根据扩散理论 ,指出界面处生成相的... 扩散连接接头中界面区脆性金属间化合物相的出现往往会造成接头性能的恶化 ,因此研究并建立接头界面区金属间化合物相的生成和成长行为的数学模型对扩散连接过程控制有非常重要的理论及现实意义。本文根据扩散理论 ,指出界面处生成相的动力学驱动力取决于扩散偶中组元自身的特性 ,生成相的组元及比例应按原子扩散通量比优先生成。本文从动力学及热力学角度出发 ,提出了多组元扩散偶界面处的金属间化合物生成相原则 :通量 -能量原则 ;并以钛 镍 钢扩散连接接头为例 ,证明钛 镍界面处金属间化合物相的生成规律为Ni TiNi3 TiNi Ti2 Ni Ti。提出 ,通量 -能量能力相当的两种或多种金属间化合物有可能同时形核长大 。 展开更多
关键词 扩散连接 金属间化合物 焊接接头 原子扩散通量
下载PDF
三维封装电迁移Cu互连线的多物理场模拟仿真 被引量:8
10
作者 张墅野 鲍天宇 +1 位作者 修子扬 何鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期2133-2138,共6页
随着三维封装微互连尺寸向亚微米发展,电流密度大、应力大、散热困难等问题愈发严重,原子尺度迁移失效现象逐渐成为超大规模集成电路不可忽视的可靠性问题。铜比铝的电阻率低,抗电迁移性能更好,是新一代的可靠互连材料,但是对铜互连的... 随着三维封装微互连尺寸向亚微米发展,电流密度大、应力大、散热困难等问题愈发严重,原子尺度迁移失效现象逐渐成为超大规模集成电路不可忽视的可靠性问题。铜比铝的电阻率低,抗电迁移性能更好,是新一代的可靠互连材料,但是对铜互连的原子迁移研究仍有不足。现有的电迁移(Electromigration)可靠性解析化模型主要针对单根金属线恒定温度情形下的电迁移分析,这种方法虽然计算较为简单,但是对现实情况的指导意义较小,主要原因:一是现实情况下高密度集成电路中存在温度梯度,二是互连线的三维结构对互连线的温度以及电流分布有重要影响,而这些参数严重影响着金属原子的抗电迁移性能。本工作提出一种新的电迁移仿真建模方法,通过COMSOL多物理场软件建立了经典三维Cu互连线结构。通过有限元仿真得到三维互连线的温度、电流密度和应力分布,获得了更优的数据仿真结果。结果显示,金属互连线中电流在直角内侧有严重的淤积现象,电迁移在互连线转折处最为剧烈;高温区域位于直角内外侧之间,热迁移的程度随着温度的升高而升高;高应力区域主要是互连线的外边缘处,但是应力迁移在总体电迁移中占比较小,几乎可以忽略。另外,Cu互连线的抗电迁移性能总体优于Ag互连线,是优异的高密度集成电路导体材料。 展开更多
关键词 电迁移 互连线 原子扩散通量散度 温度影响 材料影响
下载PDF
基于自动建模方法的互连可靠性分析
11
作者 朱凡 赵丽霞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期585-589,共5页
金属互连线中的电迁移现象是导致互连线失效的主要原因,影响电迁移(EM)的因素有温度、电流、材料特性和互连线的几何尺寸等。采用有限元分析方法,探究导致电迁移的这些因素的工作机制,以及这些机制之间的相互影响,并且采用原子通量散度(... 金属互连线中的电迁移现象是导致互连线失效的主要原因,影响电迁移(EM)的因素有温度、电流、材料特性和互连线的几何尺寸等。采用有限元分析方法,探究导致电迁移的这些因素的工作机制,以及这些机制之间的相互影响,并且采用原子通量散度(AFD)来衡量电迁移的大小。使用先进的自动建模并仿真的方法,得到互连线的材料属性、几何尺寸、电流密度,以及外界环境温度与AFD的关系,通过AFD的变化规律分析互连线的可靠性。结果表明,温度升高、电流增大、尺寸减小,都会降低互连线的可靠性。 展开更多
关键词 电迁移 原子通量散度 有限元模型 电子风
下载PDF
Scheme for Realizing Probabilistic Teleportation of Bipartite Atomic State via Cavity QED 被引量:1
12
作者 DONG Ping YANG Ming CAO Zhuo-Liang 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期621-624,共4页
We present a physical scheme for realizing probabilistic teleportation of bipartite atomic states via cavity QED. This scheme requires only a nonmaximally entangled pair used as quantum channel, so we reduce the requi... We present a physical scheme for realizing probabilistic teleportation of bipartite atomic states via cavity QED. This scheme requires only a nonmaximally entangled pair used as quantum channel, so we reduce the requirement of entanglement. 展开更多
关键词 bipartite atomic state TELEPORTATION nonmaximally entangled state cavity QED
下载PDF
Experimental and Theoretical Study of Hydrogen Atom Abstraction from Ethylene by Stoichiometric Zirconium Oxide Clusters 被引量:1
13
作者 Xiao-nan Wu Yan-xia Zhao +1 位作者 Sheng-gui He Xun-lei Ding 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2009年第6期635-641,J0002,共8页
The reactions of cationic zirconium oxide clusters (ZrxOy^+) with ethylene (C2H4) were investigated by using a time-of-flight mass spectrometer coupled with a laser ablation/supersonic expansion cluster source. S... The reactions of cationic zirconium oxide clusters (ZrxOy^+) with ethylene (C2H4) were investigated by using a time-of-flight mass spectrometer coupled with a laser ablation/supersonic expansion cluster source. Some hydrogen containing products (ZrO2)xH^+(x=-1-4) were observed after the reaction. The density functional theory calculations indicate that apart from the common oxygen transfer reaction channel, the hydrogen abstraction channel can also occur in (ZrO2)x^++C2H4, which supports that the observed (ZrO2)xH^+ may be due to (ZrO2)x^++C2H4→(ZrO2)xH^++C2H3. The rate constants of different reaction channels were also calculated by Rice-Rarnsberger-Kassel-Marcus theory. 展开更多
关键词 Time-of-flight mass spectrometer Zirconium oxide clusters Fast flow reactor Density functional theory Rice-Ramsberger-Kassel-Marcus theory
下载PDF
Three-Dimensional Quantum State Transferring Between Two Remote Atoms by Adiabatic Passage under Dissipation
14
作者 陈菊梅 梁林梅 +1 位作者 李承祖 邓志姣 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2010年第7期107-111,共5页
Recently, Zhou et al. [Phys. Rev. A 79 (2009) 044304] proposed a scheme for transferring three-dimensional quantum states between remote atomic qubits confined in cavities connected by fibers through adiabatic passa... Recently, Zhou et al. [Phys. Rev. A 79 (2009) 044304] proposed a scheme for transferring three-dimensional quantum states between remote atomic qubits confined in cavities connected by fibers through adiabatic passage. In order to avoid the decoherence due to spontaneous emission, Zhou et al. utilized the large detuning atom-field interaction. In the present paper, we discuss the influence of dissipation on the scheme in both the resonant atom-field interaction case and the large detuning case. We numerically analyze the success probability and the transferring fidelity. It is shown that the resonant case is a preferable choice for the technique of the stimulated Raman adiabatic passage (STIRAP) due to the shorter operation time and the smaller probability of dissipation. 展开更多
关键词 quantum state transfer adiabatic passage the stimulated Raman adiabatic passage
下载PDF
Preliminary Assessment of Total Mercury in Bulk Precipitation around Olkaria Area, Kenya
15
作者 G.N. Wetang'ula 《Journal of Environmental Science and Engineering》 2011年第12期1585-1595,共11页
Geothermal power plants are receiving increasing attention as regards the mobilization of mercury (Hg) to the environment. Hg is a trace element that may be present in the geothermal fluid, but due to its volatility... Geothermal power plants are receiving increasing attention as regards the mobilization of mercury (Hg) to the environment. Hg is a trace element that may be present in the geothermal fluid, but due to its volatility, it is transferred mainly into the vapor phase. Hence, it may be mostly discharged to the atmosphere with the non-condensable gases. Olkaria geothermal field hosts 3 geothermal power plants. In this area Hg deposition fluxes have not been studied. Concentrations and wet deposition fluxes of total mercury (T-Hg) were determined from April 2009 to May 2010 at 2 sites in this field. Event-based precipitation samples were collected using fabricated bulk precipitation samplers. Samples were treated according to trace metal protocol and analyzed by cold vapor atomic fluorescence spectrometry (CVAFS). This paper thus reports the first ever determination of T-Hg concentrations and fluxes in precipitation. The T-Hg concentration in samples ranged from 0.002-0.0602 μg/L at the two sites, however, the volume-weighted mean concentration and wet deposition flux were 0.01974 and 0.02884μg.L^-1 and 0.0167-1.45 μg.m2 during the study period. The annual volume-weighted mean wet deposition fluxes of T-Hg for 2 sites were 13.74 and 19.83 μg.m-2.yr-1 with an average flux of 16.785μg.m-2.yr-1. Hg concentrations and the Hg fluxes in precipitation showed seasonal trends being lowest in the short-rains and highest in the long rains. The concentrations of T-Hg for the 2 sites is negatively correlated with the precipitation depth (r2 = 0.26 & r2 = 0.0065), suggesting that scavenging of particle-bound mercury from the atmosphere is an important mechanism contributing to mercury in rainwater. Mean Hg concentrations in precipitation at the study sites were comparable to the ranges reported for Canada and the USA by the Mercury Deposition Network (MDN). 展开更多
关键词 Olkaria GEOTHERMAL MERCURY total mercury bulk precipiation.
下载PDF
Implementation of Controlled Geometric Phase Gate for Two Trapped Neutral Atoms
16
作者 吴怀志 杨贞标 郑仕标 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2010年第11期835-839,共5页
We propose a scheme for realizing a controlled geometric phase gate for two neutral atoms.We apply thestimulated Raman adiabatic passage to transfer atoms from their ground states into Rydberg excited states, and use ... We propose a scheme for realizing a controlled geometric phase gate for two neutral atoms.We apply thestimulated Raman adiabatic passage to transfer atoms from their ground states into Rydberg excited states, and use theRydberg interaction induced energy shifts to generate geometric phase and construct quantum gates. 展开更多
关键词 neutral atom geometric phase gate Rydberg interaction
下载PDF
Light-Induced Hofstadter's Butterfly Spectrum in Optical Lattices
17
作者 HOU Jing-Min 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2009年第3期441-444,共4页
We propose a scheme to create an effective magnetic field, which can be perceived by cold neutral atoms in a two-dimensional optical lattice, with a laser field with a space-dependent phase and a conventional laser fi... We propose a scheme to create an effective magnetic field, which can be perceived by cold neutral atoms in a two-dimensional optical lattice, with a laser field with a space-dependent phase and a conventional laser field acting on A-type three-level atoms. When the dimensionless parameter a, being the ratio of flux through a lattice cell to one flux quantum, is rational, the energy spectrum shows a fractal band structure, which is so-called Hofstadter's butterfly. 展开更多
关键词 optical lattices cold atoms Hofstadter's butterfly
下载PDF
A New View of Extended Capabilities of the COREP Code
18
作者 M. Kromar 《Journal of Energy and Power Engineering》 2011年第2期184-188,共5页
The COREP (CORE Power) code has been developed by the Reactor Physics Department of the Jozef Stefan Institute for the nuclear design calculations of the PWR (Pressurized Water Reactor) cores. The code and applied... The COREP (CORE Power) code has been developed by the Reactor Physics Department of the Jozef Stefan Institute for the nuclear design calculations of the PWR (Pressurized Water Reactor) cores. The code and applied methods have been developed and tested only for the determination of the pin power in the reactor core. Recent development of the three dimensional visualization capabilities at the author's department enables fine mesh neutron flux and power distribution presentation in the whole reactor region. The COREP code has been supplemented with additional option to enable generation of fme mesh neutron flux data in the core and reflector domain. Accuracy of the generated fine mesh results has been determined for the 2-D IAEA and typical NPP Krsko case. 展开更多
关键词 PWR nodal diffusion solver flux distribution pin power reconstruction
下载PDF
铜微互连线原子迁移仿真研究 被引量:1
19
作者 宿磊 邵杰 +1 位作者 廖广兰 史铁林 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期111-115,共5页
研究具有弯折结构的铜微互连线在不同条件下的原子迁移现象,基于原子通量散度理论构建了结构-热-电耦合的多物理场有限元模型,静态分析了铜微互连线结构的电流、温度及应力分布情况,动态模拟了原子迁移全过程.分析了原子迁移过程中电迁... 研究具有弯折结构的铜微互连线在不同条件下的原子迁移现象,基于原子通量散度理论构建了结构-热-电耦合的多物理场有限元模型,静态分析了铜微互连线结构的电流、温度及应力分布情况,动态模拟了原子迁移全过程.分析了原子迁移过程中电迁移、热迁移及应力迁移各自的作用,揭示了电流密度、环境温度、退火温度和缺陷对原子迁移行为及寿命的影响规律.分析仿真结果发现:电迁移和应力迁移在原子迁移过程中促进了孔洞的生长且占主导作用,热迁移起到了一定抑制作用但所占比例不大. 展开更多
关键词 原子迁移 铜微互连线 原子通量散度法 多物理场耦合 失效机制
原文传递
集成电路互连低k材料及其可靠性研究 被引量:3
20
作者 林倩 贺菲菲 陈超 《功能材料与器件学报》 CAS 2017年第1期6-11,共6页
随着集成电路的快速发展,由器件密度和连线密度不断增加、线宽逐渐减小带来的RC延迟成为了互连线可靠性的面临的最大难题。研究表明,低k材料的应用是减小RC延迟,降低串扰和功耗的重要途径。为了适应ULSI高速、高集成度的发展,低k互连介... 随着集成电路的快速发展,由器件密度和连线密度不断增加、线宽逐渐减小带来的RC延迟成为了互连线可靠性的面临的最大难题。研究表明,低k材料的应用是减小RC延迟,降低串扰和功耗的重要途径。为了适应ULSI高速、高集成度的发展,低k互连介质材料的探索是集成电路的必然选择。本文系统地介绍了低k互连介质材料的特性、分类和降低k值的诸多方法。并且以反相器电路模型为例,应用AFD原理对不同低k材料的电路模型进行了AFD的计算,定量地分析不同低k材料对电路可靠性影响。 展开更多
关键词 低K材料 寄生耦合 RC延迟 空气隙 原子通量散度
原文传递
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部