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基于数字锁相放大器的原点检测技术
1
作者
周时禹
赖磊捷
+1 位作者
谷国迎
朱利民
《机电一体化》
2013年第4期47-51,共5页
针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时...
针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测。实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度。
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关键词
数字锁相放大器
微纳加工
原点检测
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职称材料
紫微园坐标系与原点检测
2
作者
孙建华
李捷
《浙江测绘》
2003年第1期31-33,共3页
杭州市紫微园原点和坐标系的建立有近90年历史,本文主要叙述了它的发展概况和现在的原点检测结果与过去成果比较情况,从一个方面向读者介绍了杭州的测绘历史,同时希望能够起到加强人们对测绘历史文物的保护意识。
关键词
紫微园坐标系
原点检测
杭州市
读者
测绘历史文物
经度
纬度
GPS
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职称材料
题名
基于数字锁相放大器的原点检测技术
1
作者
周时禹
赖磊捷
谷国迎
朱利民
机构
上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室
出处
《机电一体化》
2013年第4期47-51,共5页
文摘
针对微纳加工中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测。实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度。
关键词
数字锁相放大器
微纳加工
原点检测
Keywords
digital lock-in amplifier nanolithography contact detection
分类号
TN722 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
紫微园坐标系与原点检测
2
作者
孙建华
李捷
机构
杭州市勘测设计研究院杭州
杭州市测绘管理处杭州
出处
《浙江测绘》
2003年第1期31-33,共3页
文摘
杭州市紫微园原点和坐标系的建立有近90年历史,本文主要叙述了它的发展概况和现在的原点检测结果与过去成果比较情况,从一个方面向读者介绍了杭州的测绘历史,同时希望能够起到加强人们对测绘历史文物的保护意识。
关键词
紫微园坐标系
原点检测
杭州市
读者
测绘历史文物
经度
纬度
GPS
分类号
P226.3 [天文地球—大地测量学与测量工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于数字锁相放大器的原点检测技术
周时禹
赖磊捷
谷国迎
朱利民
《机电一体化》
2013
0
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职称材料
2
紫微园坐标系与原点检测
孙建华
李捷
《浙江测绘》
2003
0
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