运用泽尼特多项式的相位去包裹算法

提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘（以下简称误差点）引起的去包裹失败的情形。该算法运用泽尼特（Ｚｅｒｎｉｋｅ）多项式对误差点区域进行拟合，通过一定阈值的设置，将误差点清除并予以拟合，具有计算快速的特点。

基于一维快速傅里叶变换的相位去包裹算法

提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对那些条纹数少，条纹质量相对较好，仅仅是由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘引起的去包裹失败的情形。该算法基于一维ＦＦＴ（快速傅里叶变换），简单且易于实现。

干涉图去包裹位相的二次校正

相位去包裹是移相干涉技术中关键的组成部分。一些去包裹算法在处理具有较多无效成像点的干涉图时,会在处理结果中引入较大的算法误差。提出了通过对去包裹位相进行二次校正的方法,实现去包裹位相算法误差的有效消除。文中通过基于DCT变换的最小二乘去包裹算法为例进行了说明,并通过一光学平晶表面的处理结果对方法进行了验证。

基于相对调制度的非方形干涉图处理方法

以相对调制度作为判据 ,划分干涉图中的有效点和无效点 ,并据此进行加权 ,采用加权最小二乘算法进行去包裹处理。采用这种方法可以有效减小包裹位相中坏点或无信息点对有效点去包裹位相的影响。以移相式干涉仪为例 ,给出了相对调制度的计算方法 ,简述了加权最小二乘去包裹算法的原理 ,并通过光学盘片的处理结果验证方法的正确性。

相位图去包裹方法及其进展

近年来付立叶变换法和相移法在辅助光学测量中得到了广泛的应用,但处理后的相位图一般包裹在[-π,π)间,要获得正确的物理变化信息,需要对原始相位图进行去包裹运算。相位去包裹算法主要有传统算法、分割线算法、最小二乘算法、细胞自动机算法、付立叶变换算法、质量导向图算法等。本文较详细地阐述了几种相位去包裹算法的数学模型和基本原理及其最新进展,分析了各自的优缺点及其适用范围。

MEMS三维静动态测试系统

采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统。系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量。对于面内运动测量,提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法,从MEMS视觉图中提取面内位移,匹配精度为0.02 pixels。对于离面运动测量,采用Hariharan 5步相移干涉(PSI)算法和去包裹算法,离面运动测量分辨率可达1 nm。通过对Si微压力传感器膜和Si微陀螺仪的静动态测试,验证了系统的适用性和可靠性。