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AVAPS-AE模式的无创通气对AECOPD合并OSA患者PSG参数、ESS评分及舒适度的影响
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作者 田茂良 韩博学 +2 位作者 王佳梅 宗政 邓治平 《昆明医科大学学报》 CAS 2024年第4期105-112,共8页
目的探讨平均容积保证压力支持-自动呼气压(AVAPS-AE)模式的无创通气对慢性阻塞性肺疾病急性加重期(AECOPD)合并阻塞性睡眠呼吸暂停(OSA)患者多道睡眠监测(PSG)参数、Epworth嗜睡量表(ESS)评分及舒适度的影响。方法选取2020年1月至2022... 目的探讨平均容积保证压力支持-自动呼气压(AVAPS-AE)模式的无创通气对慢性阻塞性肺疾病急性加重期(AECOPD)合并阻塞性睡眠呼吸暂停(OSA)患者多道睡眠监测(PSG)参数、Epworth嗜睡量表(ESS)评分及舒适度的影响。方法选取2020年1月至2022年10月自贡市第一人民医院75例AECOPD合并OSA患者,随机分为3组,各25例,均行无创通气治疗,对照A组予以AVAPS模式,对照B组予以S/T模式,观察组予以AVAPS-AE模式。比较3组治疗前、治疗24 h、48 h及72 h血气分析指标[动脉氧分压(PaO_(2))、动脉血酸碱度(pH)、动脉二氧化碳分压(PaCO_(2))]、PSG参数[微觉醒指数(MAI)、呼吸暂停低通气指数(AHI)、最低脉搏氧饱和度(miniSpO_(2))、睡眠效率(TST/TRT)]、颏舌肌肌电值(GGEMG)各变量[清醒期及睡眠NREM期张力性、峰值、时相性GGEMG]、人机对抗发生率、48 h插管率、ESS、Brog、视觉模拟量表(VAS)及健康相关生存质量(HRQL)评分。结果治疗24 h、48 h及72 h PaO_(2)组间比较:观察组>对照A组>对照B组(P<0.05);PaCO_(2)组间比较:观察组<对照A组<对照B组(P<0.05);TST/TRT、miniSpO_(2)组间比较:观察组>对照A组>对照B组(P<0.05);AHI、MAI组间比较:观察组<对照A组<对照B组(P<0.05);清醒期及睡眠NREM期张力性、峰值、时相性GGEMG组间比较:观察组<对照A组<对照B组(P<0.05);3组人机对抗发生率、48 h插管率比较,差异无统计学意义(P>0.05);ESS、Brog、VAS评分组间比较:观察组<对照A组<对照B组(P<0.05);HRQL评分组间比较:观察组>对照A组>对照B组(P<0.05)。结论AVAPS-AE模式的无创通气用于AECOPD合并OSA有利于改善患者睡眠,减少日间嗜睡,缓解呼吸困难,提高呼吸舒适度及生存质量。 展开更多
关键词 无创通气 OSA AECOPD AVAPS-AE psg ESS
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等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量 被引量:2
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作者 黄曜 黄郁芳 +1 位作者 牛国兴 宗祥福 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期885-885,共1页
关键词 等离子体质谱法 测定 硅片 磷硅玻璃 半导体材料 分析
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硼磷硅玻璃在俄歇电子谱分析中的电子束和离子束辐照效应
3
作者 陈维德 H.Bender 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第5期284-288,共5页
本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表面分凝;离子束辐照仅仅引起还原效应,不会产生磷和硼的表面堆... 本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表面分凝;离子束辐照仅仅引起还原效应,不会产生磷和硼的表面堆积现象.这说明磷和硼的表面分凝是与低能电子组成的表面负电荷有关. 展开更多
关键词 磷硅玻璃 AES 电子束 离子束
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硅基SiO_2平面光波导中硼磷硅玻璃覆盖层的制备和研究 被引量:2
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作者 陈思乡 江征风 +1 位作者 胡业发 刘文 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期390-393,共4页
利用等离子体增强化学气相沉积方法,在S iH4/N2O反应气体中掺入PH3和B2H6制备了用于硅基S iO2平面光波导的硼磷硅玻璃覆盖层.分析了磷掺杂和硼掺杂对折射率的影响,提出了选择掺杂气体流量匹配折射率的方法.研究了退火温度和气氛对膜层... 利用等离子体增强化学气相沉积方法,在S iH4/N2O反应气体中掺入PH3和B2H6制备了用于硅基S iO2平面光波导的硼磷硅玻璃覆盖层.分析了磷掺杂和硼掺杂对折射率的影响,提出了选择掺杂气体流量匹配折射率的方法.研究了退火温度和气氛对膜层性能的影响,高温退火使膜层的折射率趋于稳定,对光的吸收损耗减小;采用氧气退火可以抑制和消除氮气退火时膜层中出现的不透明的微晶粒,改善膜层质量.采用多步沉积退火方法,消除了台阶覆盖中出现的空洞和气泡,得到了台阶的覆盖性和覆盖平坦度都较好的硼磷硅玻璃膜层. 展开更多
关键词 平面光波导 磷硅玻璃 等离子钵增强化学气相沉积 台阶覆盖
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磷硅玻璃钝化工艺的探讨 被引量:1
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作者 王君平 李亚南 张聪 《科技信息》 2009年第3期26-26,共1页
本文讨论了PSG钝化膜的结构特点,分析了PSG具有钝化作用的原因;并把PSG与SiO2进行比较,证明了PSG的优越性。介绍了三种PSG制造工艺,并比较了各自的优缺点,指出各工艺所适合的产品。对于想了解PSG钝化工艺的人们有一定的帮助。
关键词 磷硅玻璃 钝化膜 合金 淀积
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硼磷硅玻璃缺陷分析与研究 被引量:1
6
作者 赵洪波 黄其煜 《电子与封装》 2008年第10期28-30,41,共4页
在晶圆制造中广泛运用掺杂有硼和磷的二氧化硅即硼磷硅玻璃作为绝缘介质,一般用于金属布线前的绝缘层。掺杂硼磷的作用是降低回流温度,减少热预算。但在实际运用中,由于硼磷硅玻璃性质不够稳定,常常受到环境的影响,其中的三氧化二硼和... 在晶圆制造中广泛运用掺杂有硼和磷的二氧化硅即硼磷硅玻璃作为绝缘介质,一般用于金属布线前的绝缘层。掺杂硼磷的作用是降低回流温度,减少热预算。但在实际运用中,由于硼磷硅玻璃性质不够稳定,常常受到环境的影响,其中的三氧化二硼和五氧化二磷容易和空气中的水汽反应生成硼酸和磷酸继而形成缺陷,造成电路短路,最终导致产品低良率,给公司造成损失。文章就硼磷硅玻璃受环境影响的异常现象进行分析研究,找到缺陷形成的根本原因及预防方法。 展开更多
关键词 磷硅玻璃 缺陷 环境
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HDP-CVD磷硅玻璃特殊磷掺杂分布的机理研究
7
作者 吴建荣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期411-415,共5页
研究了HDP-CVD PSG薄膜在栅极周围类似"花朵"状的磷含量分布的机理。实验结果表明,"花朵"状的磷含量分布是HDP-CVD反应腔中Bias RF将栅极间隙顶部的氧化物轰击溅射到间隙底部,掉落在间隙底部拐角处的氧化物再淀积的... 研究了HDP-CVD PSG薄膜在栅极周围类似"花朵"状的磷含量分布的机理。实验结果表明,"花朵"状的磷含量分布是HDP-CVD反应腔中Bias RF将栅极间隙顶部的氧化物轰击溅射到间隙底部,掉落在间隙底部拐角处的氧化物再淀积的PSG薄膜中磷含量比其他区域低而形成的。这种"花朵"状的磷含量分布沿着栅极两边间隙底部拐角往上生长,是HDP-CVD PSG薄膜所特有的,它的形成与底部材料以及图形疏密分布无关。 展开更多
关键词 高密度等离子化学气相淀积 磷硅玻璃 薄膜
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补肾活血方对复发性流产PSG-1影响的研究
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作者 夏晨年 黄婷 +2 位作者 丁晓海 康烨 崔英 《实用中西医结合临床》 2023年第12期94-97,共4页
目的:观察补肾活血方治疗肾虚血瘀型复发性流产的临床疗效,并探讨人妊娠特异性β1-糖蛋白(PSG-1)可能存在的机制。方法:随机选取2021年3月至2022年10月收治的肾虚血瘀型复发性流产患者50例为治疗组,选取同期正常妊娠女性50例为观察组。... 目的:观察补肾活血方治疗肾虚血瘀型复发性流产的临床疗效,并探讨人妊娠特异性β1-糖蛋白(PSG-1)可能存在的机制。方法:随机选取2021年3月至2022年10月收治的肾虚血瘀型复发性流产患者50例为治疗组,选取同期正常妊娠女性50例为观察组。治疗组用补肾活血方治疗,正常妊娠组不用药。观察治疗组治疗前后PSG-1及子宫动脉阻力指数(RI)、人绒毛膜促性腺激素(HCG)、雌二醇(E_(2))的变化,并与观察组做比较。结果:补肾活血方可以升高PSG-1、HCG、E_(2),降低RI,改善妊娠预后。结论:补肾活血方治疗肾虚血瘀型不明原因复发性流产安全有效,可以逆转PSG-1的低表达。 展开更多
关键词 复发性流产 补肾活血方 肾虚血瘀型 psg-1
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磷硅玻璃中磷浓度的检测和控制
9
作者 张佐兰 《上海半导体》 1989年第4期17-22,共6页
关键词 磷硅玻璃 浓度 检测 控制
全文增补中
ULSI铜金属化的磷硅玻璃钝化
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作者 杨萍 《山东半导体技术》 1994年第1期48-52,共5页
关键词 集成电路 磷硅玻璃 钝化
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袪PSG上料自动化产能提升方法研究
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作者 宋沛毅 剌颖乾 王志宏 《机械管理开发》 2023年第11期233-235,共3页
通过分析袪PSG上料自动化的结构和工作原理,对产能的影响因素进行研究,提出提升产能的有效方法,更换摩擦系数更高的平皮带以增加横向传输硅片速度;采用U型双边上料结构以增加硅片上料速度;采用两段式纵向传送组件以节省纵向传输时间;增... 通过分析袪PSG上料自动化的结构和工作原理,对产能的影响因素进行研究,提出提升产能的有效方法,更换摩擦系数更高的平皮带以增加横向传输硅片速度;采用U型双边上料结构以增加硅片上料速度;采用两段式纵向传送组件以节省纵向传输时间;增加横向传输组件以提高设备产能。最后对以上提升产能方式进行对比,以便于结合不同情况,采用不同方案进行设备产能提升。 展开更多
关键词 psg上料机 自动化 TOPCON工艺 产能
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PSGSEIS地震勘探数据处理与成像系统
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作者 《中国科技信息》 2023年第10期1-1,共1页
项目概况进入21世纪后,由于国内外市场对能源需求量的增加,人们对地震勘探提出了更高的要求。地震勘探开始进入以往被认为禁区的复杂地表区域,如山地、黄土源以及冻土带。在该类地区地震资料处理的最大问题是静校正问题,常规的方法难以... 项目概况进入21世纪后,由于国内外市场对能源需求量的增加,人们对地震勘探提出了更高的要求。地震勘探开始进入以往被认为禁区的复杂地表区域,如山地、黄土源以及冻土带。在该类地区地震资料处理的最大问题是静校正问题,常规的方法难以解决。PSGSEIS地震勘探数据处理与成像系统可以大大提高地震数据成像的质量,从而提高解释精度和准确度,并显著提高井位部署成功率。 展开更多
关键词 地震勘探 复杂地表 地震资料处理 静校正问题 冻土带 成像系统 能源需求量 psg
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综合护理干预对阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征患者生命质量的作用
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作者 净卫娟 郝丽娟 +3 位作者 潘丽杰 袁晓敏 马清芸 李旭凌 《世界睡眠医学杂志》 2024年第3期621-624,共4页
目的:探讨综合护理干预对青海地区阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(OSAHS)患者生命质量的改善效果。方法:选取2019年1月至2021年12月在青海红十字医院睡眠医学科行多导睡眠监测(PSG)和无创呼吸机治疗的中重度OSAHS住院患者392例作为研... 目的:探讨综合护理干预对青海地区阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(OSAHS)患者生命质量的改善效果。方法:选取2019年1月至2021年12月在青海红十字医院睡眠医学科行多导睡眠监测(PSG)和无创呼吸机治疗的中重度OSAHS住院患者392例作为研究对象,根据收治的时间登记表单双号顺序将患者分为对照组(单号)和观察组(双号),每组196例。对照组给予普通护理,观察组给予综合护理。比较2组干预前后Epworth嗜睡量表(ESS)、焦虑自评量表(SAS)、睡眠呼吸暂停生命质量指数(SAQLl)评分及干预后持续气道正压通气(CPAP)治疗依从性。结果:干预后,2组患者ESS、SAS评分均低于本组干预前(均P<0.05),且观察组干预后ESS、SAS评分均低于对照组(均P<0.05)。干预后,2组患者SAQLI日常活动、社会影响、情感活动、症状评分均高于本组干预前(均P<0.05),且观察组干预后SAQLI日常活动、社会影响、情感活动、症状评分均高于对照组(均P<0.05)。观察组干预后完成CPAP治疗患者例数明显多于对照组(P<0.05)。结论:综合护理干预后可显著提高患者CPAP治疗的依从性,提高疗效,提高患者的生命质量。 展开更多
关键词 阻塞性睡眠呼吸暂停综合征 综合护理 持续气道正压通气 生命质量 睡眠 焦虑 依从性 青海地区
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失眠症PSG睡眠结构参数男女性别差异比较 被引量:20
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作者 梁政亭 朱奇 +1 位作者 张星平 安艳丽 《新疆医科大学学报》 CAS 2013年第6期796-798,共3页
目的通过对125例失眠症患者多导睡眠图(Polysomnography,PSG)睡眠结构参数进行分析,探讨失眠症患病情况的性别差异及其特点。方法筛选符合失眠症诊断标准且资料完整的病例125例,根据PSG睡眠结构参数结果,以患者的性别作为分组和观察的基... 目的通过对125例失眠症患者多导睡眠图(Polysomnography,PSG)睡眠结构参数进行分析,探讨失眠症患病情况的性别差异及其特点。方法筛选符合失眠症诊断标准且资料完整的病例125例,根据PSG睡眠结构参数结果,以患者的性别作为分组和观察的基础,比较男女患者PSG睡眠结构参数的差异。结果 125例失眠症患者均存在睡眠结构的异常改变;NREM浅睡眠比例异常在男女患者中出现频率均最高;对睡眠结构参数进行组间比较发现不同性别失眠症患者在睡眠潜伏期、NREM深睡眠百分比及REM睡眠百分比上差异有统计学意义(P<0.05~0.01)。结论睡眠结构异常改变是失眠症的共性特征;睡眠表浅在失眠症中常见;失眠症患者PSG睡眠结构参数存在性别差异,失眠症临床诊治应根据不同性别特点予以区别对待。 展开更多
关键词 失眠症 性别 多导睡眠图
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pSG5/NS5A5BΔC质粒的构建及在Huh7细胞中的表达 被引量:3
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作者 王雪萍 李富军 +3 位作者 邓琳 长野(藤井)基子 北山喜久美 堀田博 《细胞与分子免疫学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期31-34,共4页
目的:构建pSG5/NS5A5B△C质粒,并检验其在Huh7细胞中的瞬时表达。方法:使用已经构建的pTM1-NS2NS5A5B△C质粒为模板,根据pTM1、HCV NS5A5B△C、pSG5序列和酶切位点特点设计引物,PCR扩增得到HCVNS5A5B△C基因片段,将目的片段插入pSG5载体... 目的:构建pSG5/NS5A5B△C质粒,并检验其在Huh7细胞中的瞬时表达。方法:使用已经构建的pTM1-NS2NS5A5B△C质粒为模板,根据pTM1、HCV NS5A5B△C、pSG5序列和酶切位点特点设计引物,PCR扩增得到HCVNS5A5B△C基因片段,将目的片段插入pSG5载体中,经筛选阳性克隆、SacⅠ和BglⅡ分别酶切鉴定后,用FuGene6转染试剂转染入Huh7细胞。用免疫荧光染色、Western blot检测HCV NS5A5B△C在Huh-7细胞中的表达。结果:限制性内切酶SacⅠ和BglⅡ分别酶切鉴定后,琼脂糖凝胶电泳结果显示酶切片段大小和插入方向均与预计一致。荧光显微镜下可见转染的Huh7细胞表达带有绿色荧光的HCV NS5A5B△C蛋白,该蛋白主要表达于细胞质,表达率达40%以上。West-ern blot结果也证实在转染pSG5/NS5A5B△C的Huh7细胞中出现了大小与HCV NS5A5B△C(82ku)一致的条带。结论:成功构建了pSG5/NS5A5B△C质粒,并在Huh7细胞中成功瞬时表达,为进一步研究HCV蛋白的功能奠定了基础。 展开更多
关键词 丙型肝炎病毒 非结构蛋白5A5B psg5 HUH7细胞
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阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征患者PSG诊断与生活质量相关性的研究 被引量:7
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作者 邵钰 何琴 +6 位作者 张佐 曲爱丽 李佳琦 滕雍辉 张沙沙 刘冰 李华 《宁夏医学杂志》 CAS 2013年第4期305-306,共2页
目的研究阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(OSAHS)患者多导睡眠监测(PSG)诊断与生活质量的相关性,为临床治疗OSAHS提供主观感受指标的参考。方法 45例经PSG诊断为轻、中、重度的OSAHS患者,使用美国医学结局研究组的36项问卷简表(SF-36)... 目的研究阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(OSAHS)患者多导睡眠监测(PSG)诊断与生活质量的相关性,为临床治疗OSAHS提供主观感受指标的参考。方法 45例经PSG诊断为轻、中、重度的OSAHS患者,使用美国医学结局研究组的36项问卷简表(SF-36)评价患者的生活质量,利用直线回归分析和多重逐步回归分析等统计学方法进行分析。结果重度OSAHS较轻度患者SF-36六个维度分值低。PSG参数呼吸暂停低通气指数(AHI)与SF-36中躯体疼痛(BP)呈正相关(P<0.05),PSG参数夜间最低血氧饱和度(LSaO2)和SF-36中生理功能(PF)、生理职能(RP)、总体健康(GH)呈正相关(P<0.05)。结论重度OSAHS较轻度患者生活质量受损严重;睡眠呼吸暂停和低通气及睡眠中低氧是影响OSAHS患者生活质量的相关因素。 展开更多
关键词 阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征 psg诊断 生活质量
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吐温-20对PB-g-PSG胶乳改性水泥砂浆性能影响及作用机理 被引量:1
17
作者 赵文杰 张羽 +1 位作者 赵彦芝 张会轩 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期566-571,共6页
通过半连续乳液接枝聚合反应合成了聚丁二烯接枝苯乙烯和甲基丙烯酸环氧丙酯胶乳(PBg-PSG胶乳),然后向PB-g-PSG胶乳中加入了占其固体质量为3%,5%和7%的吐温-20.将掺吐温-20的PB-g-PSG胶乳拌入水泥砂浆,制得PB-g-PSG胶乳改性水泥砂浆.考... 通过半连续乳液接枝聚合反应合成了聚丁二烯接枝苯乙烯和甲基丙烯酸环氧丙酯胶乳(PBg-PSG胶乳),然后向PB-g-PSG胶乳中加入了占其固体质量为3%,5%和7%的吐温-20.将掺吐温-20的PB-g-PSG胶乳拌入水泥砂浆,制得PB-g-PSG胶乳改性水泥砂浆.考察吐温-20掺量和聚灰比(质量比)对改性水泥砂浆流动度、抗压强度、抗折强度、保水率以及吸水速率的影响,并利用SEM观察改性水泥砂浆的微观形貌,分析吐温-20对PB-g-PSG胶乳的稳定作用.结果表明:随吐温-20掺量或聚灰比的增加,改性水泥砂浆流动度增加;改性水泥砂浆吸水速率随吐温-20掺量增加呈先降后增趋势;掺3%,5%和7%吐温-20的PB-g-PSG胶乳均能提高水泥砂浆的保水率(最高可达99.22%,质量分数);改性水泥砂浆的抗压强度均随聚灰比的增加而降低,且小于参比砂浆;改性水泥砂浆的抗折强度基本高于参比砂浆,且当聚灰比为10%时,最高可达9.45MPa;PB-gPSG胶乳对水泥水化物起黏合及桥接作用,并与之形成互穿网络结构,从而改善了水泥砂浆性能;吐温-20可使胶乳粒子表面形成一层很厚的水化层,阻碍胶乳粒子相互接近发生凝聚,令PB-gPSG胶乳稳定存在. 展开更多
关键词 吐温-20 PB-g—psg胶乳 改性水泥砂浆 性能 作用机理
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基于鼾声分析技术的手机软件在成人阻塞性睡眠呼吸暂停筛查中的应用价值研究
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作者 陈媛媛 彭茂桓 +9 位作者 董霄松 赵瑞 孙铭泽 顾家慧 张雪丽 赵龙 周兵 伍斓博 王韦涵 韩芳 《中国临床新医学》 2024年第1期19-24,共6页
目的评价基于鼾声分析技术的智能手机软件“睡好了么”(Sleepok)在成人阻塞性睡眠呼吸暂停(OSA)筛查中的应用价值,并与常用OSA筛查量表进行比较。方法纳入2022年7月至2023年4月因打鼾就诊于北京大学人民医院呼吸睡眠医学科进行多导睡眠... 目的评价基于鼾声分析技术的智能手机软件“睡好了么”(Sleepok)在成人阻塞性睡眠呼吸暂停(OSA)筛查中的应用价值,并与常用OSA筛查量表进行比较。方法纳入2022年7月至2023年4月因打鼾就诊于北京大学人民医院呼吸睡眠医学科进行多导睡眠监测(PSG)的成人受试者173例,在行PSG时同步使用Sleepok监测鼾声,受试者于监测当晚在研究者指导下填写纸质问卷(包括基本信息和常用OSA筛查量表)。结果Sleepok与PSG测得呼吸暂停低通气指数(AHI)差异无统计学意义(P>0.05)。Pearson相关分析结果显示,Sleepok_AHI与PSG_AHI具有较好的相关性(r=0.80,P<0.001)。Bland-Altman一致性检验结果显示,Sleepok_AHI与PSG_AHI有较高的一致性(P=0.118),两者之间的平均差异仅为-1.82次/h。ROC曲线分析结果显示,Sleepok_AHI对OSA、中重度OSA和重度OSA均有较好的诊断价值,其最佳截断值分别为16.6次/h、18.9次/h和28.0次/h。单纯鼾症组与OSA组6种量表(No-Apnea、GOAL、NoSAS、STOP、STOP-Bang、CNCQ-OSA)的评分值以及Sleepok_AHI水平比较差异均有统计学意义(P<0.05)。ROC曲线分析结果显示,6种量表均有诊断OSA的应用价值(P<0.05)。结论基于鼾声分析技术的智能手机软件Sleepok能有效识别睡眠中的呼吸事件,对于OSA高风险患者有较好的灵敏度和特异度,可用于OSA筛查。 展开更多
关键词 阻塞性睡眠呼吸暂停 鼾声分析 多导睡眠监测 筛查量表
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PB-g-PSG胶乳改性水泥砂浆的性能 被引量:10
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作者 赵文杰 张会轩 张宝砚 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期497-500,共4页
通过半连续乳液接枝聚合反应合成了m(聚丁二烯)/m(苯乙烯)/m(甲基丙烯酸环氧丙酯)为50/50/0,50/49/1,50/46/4的3种聚丁二烯接枝聚苯乙烯(St)和甲基丙烯酸环氧丙酯(GMA)共聚胶乳(PB-g-PSG胶乳).水灰比为0.4(质量比),将3种PB-g-PSG胶乳用... 通过半连续乳液接枝聚合反应合成了m(聚丁二烯)/m(苯乙烯)/m(甲基丙烯酸环氧丙酯)为50/50/0,50/49/1,50/46/4的3种聚丁二烯接枝聚苯乙烯(St)和甲基丙烯酸环氧丙酯(GMA)共聚胶乳(PB-g-PSG胶乳).水灰比为0.4(质量比),将3种PB-g-PSG胶乳用于制备胶乳改性水泥砂浆,考察了GMA含量和聚灰比对该砂浆的流动度、抗压和抗折强度以及吸水速率的影响,并与SD623羧基丁苯胶乳改性水泥砂浆进行了性能对比试验.结果表明:在一定掺量范围内,3种PB-g-PSG胶乳改性水泥砂浆的流动度随GMA含量的变化并不明显,但均随聚灰比的增加而增加;PB-g-PSG胶乳能显著降低水泥砂浆的吸水速率;PB-g-PSG胶乳的掺入对水泥砂浆的力学性能有重要影响,这种砂浆的抗压强度随聚灰比的增加而降低,且小于参比水泥砂浆,聚灰比小于10%(质量分数)时,抗折强度大于参比水泥砂浆,最高可达9.65MPa;PB-g-PSG胶乳可作为水泥改性剂使用. 展开更多
关键词 PB-g-psg胶乳 改性水泥砂浆 性能
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VLSI工艺中BPSG薄膜的研究 被引量:3
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作者 王强 姜斌 +1 位作者 邓宏 李如东 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期53-56,共4页
BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BPSG的性能有着显著影响。以WJ—999R机台为基础,详细研究了B、P含量的变化对对BPSG薄膜的沉积率、蚀刻率... BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BPSG的性能有着显著影响。以WJ—999R机台为基础,详细研究了B、P含量的变化对对BPSG薄膜的沉积率、蚀刻率及其对回流效果的影响。研究发现:沉积率随着B含量的增加而增加;当P含量由0至1%时沉积率突然降低,随后随P含量的增加无显著变化。蚀刻率则随B含量的增加而降低,随P含量的增加而增加。B含量对回流效果的影响显著强于P含量的影响,每增加1%的B,玻璃软化温度降低约40℃。过高过低的B、P含量会产生异常,在3%B,5%P含量下BPSG薄膜有着优良的性能。 展开更多
关键词 半导体技术 磷硅玻璃 常压化学气相沉积 磷酸硼结晶
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