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CPU干刻清洗工艺在金属刻蚀去胶腔上的评价及应用
1
作者 王倩 《电脑知识与技术》 2006年第10期142-144,共3页
本文以CPU金属刻蚀去胶腔为背景,简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中的问题,展开讨论。通过实际案例分析.展示了CPU干刻清洗工艺的应用价值。
关键词 CPU干刻清洗 金属刻蚀 干刻 去胶腔 去胶速率
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干刻清洗工艺在金属刻蚀去胶腔上的评价及应用
2
作者 王倩 《中国集成电路》 2006年第10期43-46,共4页
本文以金属刻蚀去胶腔为背景,简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中的问题,展开讨论。通过实际案例分析,展示了干刻清洗工艺的应用价值。
关键词 干刻清洗 DRY CLEAN 金属刻蚀 Metal ETCH 干刻 DRY ETCH 去胶腔 ASH CHAMBER 去胶速率:Ash Rate(AR)
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