期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
超快激光制备铌酸锂基金属叉指电极工艺研究
1
作者
周天丰
张丹梅
+4 位作者
刘朋
李沛桓
谢秋晨
李紫薇
王西彬
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第23期81-89,共9页
利用波长1064 nm、脉冲宽度10 ps、重复频率100 kHz的超快脉冲激光,刻蚀了铌酸锂基底上的银铬双层薄膜,研究了激光能量密度和扫描速度对银铬双层薄膜表面刻蚀沟槽质量的影响以提高沟槽质量。结果表明,激光能量密度5.38 J/cm~2、扫描速度...
利用波长1064 nm、脉冲宽度10 ps、重复频率100 kHz的超快脉冲激光,刻蚀了铌酸锂基底上的银铬双层薄膜,研究了激光能量密度和扫描速度对银铬双层薄膜表面刻蚀沟槽质量的影响以提高沟槽质量。结果表明,激光能量密度5.38 J/cm~2、扫描速度500 mm/s是激光刻蚀沟槽的最佳激光参数,沟槽底部基底完整无损,沟槽边缘没有明显裂纹,保证最终刻蚀获得的叉指电极具有优良性能,同时相应的沟槽宽度约为14μm,使得加工线宽14μm及以上的高质量叉指电极成为可能,能够满足生物医学领域声表面波器件对叉指电极的需求。设计并以优化参数加工了一对应用于生物医学领域声表面波器件的叉指电极,其加工精度较高,表面形貌良好,电极间无粘连等缺陷。
展开更多
关键词
超快激光
叉
指
电极
(
idt
)
金属薄膜
铌酸锂
声表面波(SAW)
下载PDF
职称材料
题名
超快激光制备铌酸锂基金属叉指电极工艺研究
1
作者
周天丰
张丹梅
刘朋
李沛桓
谢秋晨
李紫薇
王西彬
机构
北京理工大学医学技术学院
北京理工大学机械与车辆学院
北京理工大学重庆创新中心
出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第23期81-89,共9页
基金
国家自然科学基金面上项目/青年项目(51775046,51875043,52005040)
北京市杰出青年基金(JQ20014)
+1 种基金
北京理工大学“青年教师学术启动计划”(XSQD–202203014)
重庆市自然科学基金面上项目(cstc2020jcyj–msxmX0884,cstc2020jcyj–msxmX0601)。
文摘
利用波长1064 nm、脉冲宽度10 ps、重复频率100 kHz的超快脉冲激光,刻蚀了铌酸锂基底上的银铬双层薄膜,研究了激光能量密度和扫描速度对银铬双层薄膜表面刻蚀沟槽质量的影响以提高沟槽质量。结果表明,激光能量密度5.38 J/cm~2、扫描速度500 mm/s是激光刻蚀沟槽的最佳激光参数,沟槽底部基底完整无损,沟槽边缘没有明显裂纹,保证最终刻蚀获得的叉指电极具有优良性能,同时相应的沟槽宽度约为14μm,使得加工线宽14μm及以上的高质量叉指电极成为可能,能够满足生物医学领域声表面波器件对叉指电极的需求。设计并以优化参数加工了一对应用于生物医学领域声表面波器件的叉指电极,其加工精度较高,表面形貌良好,电极间无粘连等缺陷。
关键词
超快激光
叉
指
电极
(
idt
)
金属薄膜
铌酸锂
声表面波(SAW)
Keywords
Ultrafast laser
Interdigital electrode(
idt
)
Metal film
LiNbO3
Surface acoustic wave(SAW)
分类号
TN64 [电子电信—电路与系统]
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超快激光制备铌酸锂基金属叉指电极工艺研究
周天丰
张丹梅
刘朋
李沛桓
谢秋晨
李紫薇
王西彬
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部