超快激光制备铌酸锂基金属叉指电极工艺研究

利用波长1064 nm、脉冲宽度10 ps、重复频率100 kHz的超快脉冲激光,刻蚀了铌酸锂基底上的银铬双层薄膜,研究了激光能量密度和扫描速度对银铬双层薄膜表面刻蚀沟槽质量的影响以提高沟槽质量。结果表明,激光能量密度5.38 J/cm~2、扫描速度500 mm/s是激光刻蚀沟槽的最佳激光参数,沟槽底部基底完整无损,沟槽边缘没有明显裂纹,保证最终刻蚀获得的叉指电极具有优良性能,同时相应的沟槽宽度约为14μm,使得加工线宽14μm及以上的高质量叉指电极成为可能,能够满足生物医学领域声表面波器件对叉指电极的需求。设计并以优化参数加工了一对应用于生物医学领域声表面波器件的叉指电极,其加工精度较高,表面形貌良好,电极间无粘连等缺陷。