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双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究
被引量:
1
1
作者
刘林青
李东升
+1 位作者
马建东
秦昀亮
《中国测试》
CAS
北大核心
2019年第2期16-21,共6页
针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,...
针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,通过解析几何的办法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合情况下内径尺寸的计算结果。根据所建立模型计算设计测头A、测头B分辨力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量需求。该原理性研究为双光杆法内径尺寸测量装置的研制提供理论基础。
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关键词
双光学灵敏杠杆
内径尺寸检测
小孔衍射
亚像素法
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职称材料
题名
双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究
被引量:
1
1
作者
刘林青
李东升
马建东
秦昀亮
机构
中国计量大学计量测试工程学院
长庆油田分公司技术监测中心
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2019年第2期16-21,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51775529)
文摘
针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸。结合反射定律,通过解析几何的办法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合情况下内径尺寸的计算结果。根据所建立模型计算设计测头A、测头B分辨力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量需求。该原理性研究为双光杆法内径尺寸测量装置的研制提供理论基础。
关键词
双光学灵敏杠杆
内径尺寸检测
小孔衍射
亚像素法
Keywords
double optical lever
inner diameter measurement
pinhole diffraction
subpixel method
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究
刘林青
李东升
马建东
秦昀亮
《中国测试》
CAS
北大核心
2019
1
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参考文献
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