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过氧聚钨酸薄膜上光栅的制备
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作者 阿布力孜.伊米提 伊藤公纪 《新疆大学学报(理工版)》 CAS 2002年第1期72-74,共3页
用过氧聚钨酸 (PPTA)水溶液 ,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为 1 0 0nm的 PPTA薄膜 .利用 PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点 ,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法 ,制备了凹面光栅 .结果表明 ,... 用过氧聚钨酸 (PPTA)水溶液 ,通过离心涂膜法在显微镜载玻片上制备了具有光滑表面且厚度为 1 0 0nm的 PPTA薄膜 .利用 PPTA薄膜在紫外光照下可硬化的特点 ,在薄膜上制备光栅进行研究并通过双光束干涉曝光法 ,制备了凹面光栅 .结果表明 ,PPTA是作为研制光栅以及其它光学元件的薄膜材料 。 展开更多
关键词 过氧聚钨酸薄膜 光栅 双光束干涉曝光法 光集成回路 制备原理 离心涂膜
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