基于宽波段激光吸收谱的真空分压力测量方法

为了弥补质谱法测量分压力的诸多原理性缺陷和调谐二极管激光吸收谱法(TDLAS)的不足,提出了基于双光梳外差光谱技术的激光吸收谱真空分压力测量方法。利用双光梳光谱仪工作波段宽、光谱分辨率高和测量速度快的优势,辅以多通池样品腔增加有效吸收长度,实现非侵入式、高速度和高精度的真空分压力测量。利用CH 4在3.3222~3.4130μm波段的32个特征吸收峰分别测量CH 4的分压力,测量结果中最大相对偏差为5.45%,均值分压力的偏差为0.85%。经过不确定度估算分析,分析结果与测量结果较为一致。利用目标气体N个特征吸收峰分别反演计算分压力后等权平均,可以明显降低真空分压力的测量不确定度,降低系数约为1 N。