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基于三维缺陷检测的双光路双远心光学系统设计 被引量:3
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作者 韦晓孝 李雪宸 +1 位作者 万新军 张薇 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期14-19,共6页
针对基于SMT技术生产的PCB板产品的三维缺陷检测问题,设计了一款高分辨率、高远心度及低畸变的双光路双远心光学系统。它通过远心投影物镜经共光路物镜将DMD数字条纹均匀投影至待测物面,同时经由共光路物镜和成像物镜收集物面反射条纹光... 针对基于SMT技术生产的PCB板产品的三维缺陷检测问题,设计了一款高分辨率、高远心度及低畸变的双光路双远心光学系统。它通过远心投影物镜经共光路物镜将DMD数字条纹均匀投影至待测物面,同时经由共光路物镜和成像物镜收集物面反射条纹光至CMOS接收面。使用ZEMAX光学软件分别对三部分镜组进行优化设计,分析了系统的像差和调制传递函数。设计结果表明:共光路物镜部分采用长工作距离、大视场角及物方远心结构,空间频率50lp/mm处,各视场的MTF接近衍射极限;投影光路畸变小于0.1%,在投影面上全视场范围MTF在6lp/mm处大于0.8且条纹周期均匀;成像光路畸变小于0.05%,在全视场范围MTF在80lp/mm处大于0.3。仿真成像结果表明,在离焦量为+/-6mm时仍能达到景深范围内分辨率要求,能有效提高3D AOI检测质量。且双光路双远心系统所用材料基本为普通玻璃且重复率较高,利于加工和节省成本。 展开更多
关键词 应用光学 光学设计 双光路结构 远心镜头 高分辨率 投影
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同光源双光路位移传感器研究 被引量:2
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作者 马加兴 李伟 王耀军 《机床与液压》 北大核心 2003年第4期46-47,201,共3页
本文提出了一种基于偏振光检测的新型直线位移传感器方法 ,同时着重讨论了一种基于光反馈原理及法拉第旋光效应的光源稳定化方法。文中的设计方法采用双光路结构 ,避开了灵敏度过低区域 ,使得传感器能够实现连续大量程的测量 ,并有光机... 本文提出了一种基于偏振光检测的新型直线位移传感器方法 ,同时着重讨论了一种基于光反馈原理及法拉第旋光效应的光源稳定化方法。文中的设计方法采用双光路结构 ,避开了灵敏度过低区域 ,使得传感器能够实现连续大量程的测量 ,并有光机电结合、结构简单。 展开更多
关键词 直线位移传感器 线偏振光检测 光源稳定控制 双光路结构 光反馈 法拉第旋光效应
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光纤悬臂梁式振动传感器的研究
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作者 张少君 刘月明 杨秀芳 《西安理工大学学报》 CAS 2001年第1期109-109,共1页
研究了一种新型光纤悬臂梁式振动传感器,这种传感器的光纤悬臂梁带有光纤微准直透镜,提高了光路的光耦合效率,而且,传感器的接收探头采用了“双光路差分结构”,从而大大提高了传感器灵敏度,同时也增强了抗干扰能力。通过实验测试... 研究了一种新型光纤悬臂梁式振动传感器,这种传感器的光纤悬臂梁带有光纤微准直透镜,提高了光路的光耦合效率,而且,传感器的接收探头采用了“双光路差分结构”,从而大大提高了传感器灵敏度,同时也增强了抗干扰能力。通过实验测试研究了传感器对压电陶瓷激振的响应特性,证实了该传感器对振动测试的能力。 (将发表在《西安理工大学学报》2001 Vol.17 No.2) 展开更多
关键词 光纤悬臂梁式振动传感器 光纤微准直透镜 光路耦合 光路差分结构 灵敏度 压电陶瓷
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Experimental Research on Erbium-doped Superfluorescent Fiber Source 被引量:2
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作者 CHENSheng-ping LUKe-cheng LIYi-gang LIJia-fang ZHUJian-ping FENGMing LIJing 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第2期122-126,共5页
The effects of the variations in fiber length,fiber mirror reflectance on efficiency and output power are experimentally investigated for erbium-doped double pass backward superfluorescent fiber sources (SFSs).The inf... The effects of the variations in fiber length,fiber mirror reflectance on efficiency and output power are experimentally investigated for erbium-doped double pass backward superfluorescent fiber sources (SFSs).The influence of fiber length on mean wavelength stability (MWS) has also been demonstrated.By incorporating a short section of un-pumped erbium-doped fiber (EDF) at the output port,the pump power dependent on MWS becomes independent of pumped EDF length.This is a novel phenomenon that hasn’t been reported up to now,and should be helpful to SFS fabrication and theory analysis.By using a fiber Michelson interferometer as spectrum slicing component,a multi-wavelength fiber source (MWFS) with ~20 channels (from 1 542 nm to 1 559 nm) is got.The MWFS has a channel spacing of ~0.8 nm which satisfies ITU-standard.The intensity fluctuation among channels is less than 0.5 dB,and the extinction ratio of all channels is above 14 dB.This kind of MWFS should be useful to wavelength division multiplexing systems. 展开更多
关键词 Superfluorescent fiber source Erbium-doped fiber Double pass backward configuration Mean wavelength stability Multi-wavelength fiber source
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