双动极板电容式压力敏感结构最优尺寸研究

为提高双动极板接触电容式压力传感器设计效率,提出一种高效的设计方法。该方法可实现对指定量程和灵敏度的尺寸参数设计。通过有限元软件分析双动极板电容式压力敏感结构的极板厚度、极板半径与厚度比以及接触压力在不同情况下的输出特性,并结合膜片形变理论对腔体高度参数进行确定。结果表明,该方法在对指定量程的双动极板电容式压力芯片设计方面,具有较高的设计精度,并且能大幅度缩短接触电容式压力传感器的研发周期。