在PECVD系统中,用layer by layer的方法原位制备了a-SiNx/nc-Si/a-SiNx双势垒结构样品。AFM测量结果显示nc-Si晶粒密度约为1.2×1011cm-2,通过Raman散射谱计算出薄膜中的平均晶粒尺寸为6nm,nc-Si层的晶化比约46%。在低频时的电容-电...在PECVD系统中,用layer by layer的方法原位制备了a-SiNx/nc-Si/a-SiNx双势垒结构样品。AFM测量结果显示nc-Si晶粒密度约为1.2×1011cm-2,通过Raman散射谱计算出薄膜中的平均晶粒尺寸为6nm,nc-Si层的晶化比约46%。在低频时的电容-电压(C-V)测试过程中,观察到了与共振隧穿效应有关的电容峰,由于样品中的nc-Si颗粒尺寸均匀性不高,没有观察到分立的隧穿电容峰结构,只得到扩展的电容峰。展开更多
文摘在PECVD系统中,用layer by layer的方法原位制备了a-SiNx/nc-Si/a-SiNx双势垒结构样品。AFM测量结果显示nc-Si晶粒密度约为1.2×1011cm-2,通过Raman散射谱计算出薄膜中的平均晶粒尺寸为6nm,nc-Si层的晶化比约46%。在低频时的电容-电压(C-V)测试过程中,观察到了与共振隧穿效应有关的电容峰,由于样品中的nc-Si颗粒尺寸均匀性不高,没有观察到分立的隧穿电容峰结构,只得到扩展的电容峰。