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题名采用无电极谐振音叉的石英真空传感器设计
被引量:1
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作者
宋国庆
王长虹
邹向光
王万生
王俊巍
姚东媛
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第12期104-107,共4页
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文摘
提出了一种基于气体输运现象的双参数谐振石英真空传感器(QRVS)。与传统QRVS不同,在(zyw)-18°15'切型的石英音叉片本体无任何电极设置,构成"无电极型谐振音叉";采用频率和等效串联电阻值的双参数谐振敏感机制,且音叉厚度t与两叉臂间距g之比为t/g=10。为了增大叉臂与真空中残存气体的机械摩擦阻尼,在叉臂的前端制备了4枚通透沟槽。为了抑制寄生振动模式,提高品质因数Q值和叉臂根部的机械疲劳寿命,在两叉臂的边缘分别制作了半圆形台阶,在支撑隔离区加工了2~5枚矩形槽。典型样品实测数据表明:真空测量范围为10^(-3)~105Pa,分辨率为3×10^(-3)Pa,准确度为10%F.S,稳定性为1.5×10^(-3)Pa,达到了设计要求。
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关键词
石英真空传感器
双参数谐振
无电极谐振音叉
音叉厚度与两叉臂间距比
通透沟槽
半圆形台阶
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Keywords
quartz resonant vacuum sensor (QRVS)
two-parameter resonance
electrodesless resonant tuning fork
ratio of thickness of tuning fork to distance between two arms
ventilated groove
semicircular step
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名双参数形变谐振子奇偶相干态的高阶压缩特性
被引量:2
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作者
汪仲清
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机构
石油大学应用物理系
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出处
《高能物理与核物理》
CSCD
北大核心
2001年第12期1158-1164,共7页
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文摘
研究了双参数qs形变谐振子奇偶相干态中光场的高阶压缩特性 ,并用数值计算方法定量研究了形变参数q和s对这一特性的影响规律 .结果表明 ,qs形变谐振子奇偶相干态均可能呈现奇次方阶压缩效应却无偶次方阶压缩效应 ,这与谐振子没有形变时的通常情况是不同的 .当q和s取一定值时 ,在qs形变相干态中谐振子强度r2 取值的一定范围内 ,这种反常特性的范围随着q偏离 1越大s取值越小而变大 .
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关键词
光场
双参数形变谐振子
奇偶相干态
高阶压缩特性
量子光学
量子群
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Keywords
light field, two-parameter deformed coherent state, higher power squeezing property
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分类号
O411.1
[理学—理论物理]
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