新型结构压电石英晶片去耦效应的研究

针对中低频光刻工艺的小型化压电石英晶片,为解决双台面(BI-MESA)型压电石英晶片的寄生耦合振动的影响,以及封装过程中点胶区域对振动区域的力频效应影响导致温-频特性的阻抗跳动。提出一种带有沟槽的BI-MESA型AT切压电石英晶体谐振器,并通过有限元仿真谐响应分析方法,给出其振动幅-频分布情况和势能分布情况。仿真分析比较发现,晶体表面沟槽的设计可有效抑制振动传播到点胶区域产生力-频效应的影响,改善BI-MESA谐振器的振动特性。