基于双向剪切干涉的CCD像素间距标定

为精确标定电荷耦合器件(CCD)图像采集系统的像素间距,提出了一种基于双向剪切干涉的标定方法,即通过双向剪切干涉两半场条纹宽度的相对关系来测量图像采集系统的像素间距。由理论推导建立了相应的标定模型,并对模型进行了实验验证和误差分析。实验结果表明,该方法的标定精度能达到0.04μm。

双向剪切干涉法测量高斯光束远场发散角

对双向剪切干涉理论和高斯光束传输特性进行了研究.提出了一种测量高斯光束远场发散角的方法:利用双向剪切干涉仪分别在激光传输路径上两个特定位置测出波前曲率半径,然后由曲率半径得出发散角.通过理论推导建立了相应的检测模型,并对模型进行了实验验证.实验测量和误差分析表明该方法的测量准确度能达到10″;发散角测量准确度的主要影响因素为干涉条纹宽度测量误差.

自相关在双向剪切激光准直检校中的应用

对基于双向剪切干涉的激光准直检校方法进行了研究.采用CCD对干涉条纹进行采集,提出了用自相关比较条纹宽度的方法,解决了人眼直接观察会引入主观判断误差且不适用于非可见光的问题.理论分析和实验表明:条纹灰度分布的自相关函数会以条纹宽度值为周期出现峰值;比较两半场条纹自相关函数峰值出现的位置即能得知入射激光的准直与否.