声表面波气体传感器叉指换能器的结构优化

为降低声表面波气体传感器在传播声波时所产生的插入损耗,分析了常规高损耗型双向叉指换能器的结构形状,设计了一种低损耗型浮动电极单向换能器的结构,采用COMSOL有限元软件建立双向和单向叉指换能器的仿真模型,通过添加固体力学和静电物理场,对比分析两种结构输出端的插损。结果表明:双向叉指换能器两个输出端产生的插损十分接近,说明声波具有双向性传播,未能起到降低插损的作用;浮动电极单向换能器每个周期6个不同电极的的特殊设计,使其具有单向传播性,可以降低声表面波气体传感器4 dB的插入损耗,提高了传感器的敏感特性。